微細構造物を破壊せずに洗浄・乾燥を行うことが可能
従来の「液化二酸化炭素で置換する工程」を「超臨界二酸化炭素で置換する工程」に置き換えたことにより… ●ポンプにより圧送される液化二酸化炭素を予備加熱することで粘性の低い超臨界流体としてチャンバーに導入するため、ナノレベルの微細構造物に対してもダメージの少ない洗浄・乾燥が行えます。 ●チャンバーの冷却、加温という温度サイクルがなく一定温度での洗浄・乾燥が行えるめ、処理時間の短縮が可能です。 ●ヒーター・自動圧力調整バルブ・ポンプをプログラム制御することで、閉鎖系にすることなく超臨界流体によるリンス液の置換から大気圧までの減圧が効率よく行えます。
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基本情報
◆マイクロマシン、デバイスの構造は高性能化、高機能化のために、マイクロからナノの領域へ突入してきています。 ◆この微細化に伴い構造物は脆くなり、製造工程における洗浄・乾燥で生じる僅かな外力（毛細管力・表面張力）で構造が変形する問題が発生しています。 ◆変形原因である毛細管力・表面張力は液体と気体のような異相間で発生する力であり、同一相では発生しません。 ◆超臨界洗浄・乾燥装置は、毛細管力・表面張力を発生しないシステムにより、微細構造物を変形させずに洗浄・乾燥を行うことができます。
価格情報
-
納期
~ 1ヶ月
用途／実績例
マイクロマシン（MEMS）のウェットエッチング処理後の乾燥
企業情報
RyuSyo はさまざまな分野（マイクロエレクトロニクス・コンピュータ・通信・メカトロ・オプト・ 超音波・Ｘ線・バイオ等）で先端技術を有し、その複合技術により個性的な新製品を生み出しています。 又、その技術と制御技術（環境制御・燃焼制御・通信制御等）を組み合わせることができ、幅広い分野に対応しています。