オメガトロンの製品・サービス一覧

『OMI-0015CKE』は、シンプルで信頼性の高いコールドカソードイオン銃です。 収束性を高めた「タイプA」は、ビーム収束レンズを2段搭載。 また、ブロードビーム型の「タイプB」は、収束レンズを1段としてコストを 抑えつつ、大電流のイオンビームを照射可能です。 どちらの機種も、漏洩磁束が少なくディスチャージコントロール性に優れた 電磁石を採用したモデルです。 【特長】 ■シンプル ■信頼性が高い ■ビーム収束レンズを2段搭載(タイプA) ■コストを抑えつつ、大電流のイオンビームを照射可能(タイプB) ■漏洩磁束が少なくディスチャージコントロール性に優れた電磁石を採用 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

• その他理化学機器

『OMS-1940』は、前モデルから80％に上る部品を新設計とし、 特に数eV～100eVという超低速において、比較的大電流の各種イオンを 照射可能な低速質量選別イオンビーム照射システムです。 イオン源部は組立式のセラミック放電管の為、優れたメンテナンス性、 耐腐食性、安定性を獲得しており、長時間に亘る実験に有効です。 また、Ar、酸素、窒素、水素、Heはもちろん、BCL3ガスをも安定的に 放電することが可能になっており、イオン源部品とガス導入系の交換により さまざまなイオンを発生することが可能です。 【特長】 ■比較的大電流の各種イオンを照射可能 ■イオン源部は組立式のセラミック放電管 ■オリフィスを交換することで、分解能1amuの質量分離が可能 ■ニュートラルや電子の低減に効果的な設計 ■超低速域においてもビームの収束性が良く、高効率 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

• その他理化学機器

『OMI-0850 series』は、nmオーダーの超精密加工を可能とする、 RF励起方式のイオン銃です。 大電流のイオンビームを長時間安定的に照射可能ですので、精密素子等の 加工時間を短縮します。独自のニュートラライザーをオプションで 搭載可能とし、絶縁物の加工も可能です。 また、IBF(Ion Beam Figuring)はもちろん、細かく収束制御されたビームは IBSイオンビームスパッタ成膜にも対応できます。 【特長】 ■nmオーダーの超精密加工ができる ■RF励起方式 ■IBSイオンビームスパッタ成膜にも対応 ■独自のニュートラライザーをオプションで搭載可能 ■絶縁物の加工もできる ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

• その他理化学機器

『OMS-5010ESi』は、新開発のコールドカソードイオン銃、EXBセパレーター、 ビーム輸送系、高性能レンズシステムを備え、最大10kVの高電圧大電流の 各種イオンビームを照射できるイオンビーム照射システムです。 Ar、He、水素はもちろん、窒素、酸素、CO2ガスも放電することが可能。 イオン源部はレアメタルを採用し、優れたメンテナンス性、安定性を 獲得しており、長時間に亘る実験に有効です。 【特長】 ■ExBセパレーター型 ■最大10kVの高電圧大電流の各種イオンビームを照射可能 ■オリフィスを交換することで、分解能1amuの質量分離が可能 ■多段に配置された収束レンズにより高効率 ■Ar、He、水素はもちろん、窒素、酸素、CO2ガスも放電することができる ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

• その他理化学機器

『OME-0035』は、ビームエネルギー10eVから1100eVの低速型電子銃です。 ビームエネルギー10eVの低速でも200nA近くの大電流を照射可能。 試料表面の帯電中和、ガスのイオン化、二次電子発生試験などに好適です。 また、外部入力端子にパルスアンプ(オプション)を接続すれば パルス発生が可能になり、TOF用のイオン化、精密帯電試験にも 使用出来ます。 【特長】 ■ビームエネルギー：10eV～1100eV ■外部入力端子にパルスアンプを接続すればパルス発生が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

• その他理化学機器

ICF70マウントで使用できる小型ハイパワーのプラズマ源です。シンプルな設計のプラズマ源とプラズマの異常放電やパルス衝撃に強く出力バンドが広く工夫されたコントローラは、ユーザーによるメンテナンスのしやすさと、ハイコストパフォーマンスを実現しました。

• プラズマ発生装置

『OMS-0070FC』は、イオンビーム・電子ビームの全電流計測用、 開口径φ20mmのファラデーカップ計測システムです。 電流計測抵抗を切り替えることにより、0.01μA（最小感度） から10.000mAまで計測することができます。 詳しくは、お問い合わせ下さい。 【仕様】 ■材質：SUS、アルミ、銅、アルミナ ■開口径：φ20mm ■最大入熱：120W （φ20mmに平均入射として） ■取付フランジ：ICF70 ■真空側サイズ：φ34mm×100mm ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

• その他計測・記録・測定器

当製品は、超高真空において使用可能なビームエネルギー10eVから3000eVの 減速型コールドカソードイオン銃です。 効率よくイオンを引き出し、高精度減速型多段レンズにより、高電流密度の 低速イオンビームを照射可能です。 フィラメントがない構造は反応性ガスを使用可能となっており、長寿命の 為メンテナンスサイクルを短くすることが可能。整備性に優れた新設計 ディスチャージチャンバーを採用しております。 また高効率差動排気設計によりメインチャンバーを超高真空度に保ちます。 【特長】 ■減速型コールドカソードイオン銃 ■高電流密度の低速イオンビームを照射可能 ■フィラメントがない構造は反応性ガスを使用できる ■長寿命の為メンテナンスサイクルを短くすることが可能 ■整備性に優れた新設計ディスチャージチャンバーを採用 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• プラズマ表面処理装置

　オメガトロンのイオン銃技術とノウハウを結集し、シンプルで信頼性の高いコールドカソードイオン銃を完成させました。 放電電極に高価なレアメタルをおごっているにもかかわらず、最適設計により部品点数を削減したため、品質をより向上させつつ販売価格を１２３万円（税抜き）とすることができました。 また、オプションのユニットをお選び頂ければ、従来のような高機能・高性能タイプにリーズナブルにステップアップすることも可能です。 中性ビーム銃に搭載の同軸型ニュートラライザーをオプションでお選び頂ければセラミックなどの絶縁体の精密ミーリングに威力を発揮します。 非常にシンプルな構造のため信頼性、メンテナンス性に優れ、お客様の手間も最小限です。

• プラズマ表面処理装置