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「K」シリーズは新技術・新機能。新ワークへのアップグレードがより簡単・低コストで実現出来る拡張型ウエットプロセッサーです。 レジスト塗布、現像、エッチング、剥離、洗浄と、ウエットプロセスであればどの様な仕様でも製作可能です。 必要とされる機能をお客様との御打合せで作り上げていきますので、過剰スペックではなく、低コストで最適な装置をご提供致します。 また、設計、製造ともに自社で行っておりますので、装置導入後の仕様変更もスピード対応します。
基板が収納されたカセットをエレベータにて自動昇降させるIPA蒸気乾燥装置です。凝結したIPAは回収タンクへ回収します。
AGV対応、ケミカル処理、リンス、乾燥する大型マスク洗浄装置です。反転機構により両面洗浄も可能です。
カセットをローダーにセットし、耐薬仕様のクリーンロボットにて基板の搬送を行います。 チャンバーＡでケミカル処理、チャンバーＢでリンス、スピン乾燥し、アンローダにセットしたカセットへ収納する、枚葉自動マルチスピンプロセッサーです。
カセットをローダーにセットし、クリーンロボットにて基板の搬送を行い、剥離処理、リンス、スピン乾燥する枚葉自動スピン剥離装置です。
基板をマニュアルでチャックにセットし、剥離処理、リンス、スピン乾燥します。
セットをローダーにセットし、クリーンロボットにて基板の搬送を行い、パドル現像、リンス、スピン乾燥する枚葉自動スピン現像装置です。本体側面に薬液供給タンク又は廃液タンク(20L)を2本内蔵可能です。
基板をマニュアルでチャックにセットし、パドル現像、リンス、スピン乾燥します。
基板をマニュアルでチャックにセットし、パドル現像、リンス、スピン乾燥します。 本体側面にキャニスター缶を収納可能。
基板をマニュアルでチャックにセットし、スプレー現像、リンス、スピン乾燥します。
オプションでオゾン水（20ppm）やエキシマUV、大気圧プラズマとの組み合わせも可能です。 その他、ULPA/HEPAユニット、薬液供給ユニットとの組み合わせなど汎用性に優れております。
工事不要で使えるガス式の自動給油器。防爆エリア対応で廃棄も簡単
工場の省エネ・CO2排出量削減について解説。マンガ資料無料進呈
