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「半導体製造装置用コネクタ」 高真空、耐高温、高電圧、高密度!

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LEMOコネクタ

最終更新日:2025年07月11日

レモジャパン株式会社
レモジャパン株式会社
  • 公式サイト

ワンタッチでの簡単操作の嵌合・脱着が可能な小型コネクタ! 振動、ねじれ、衝撃など過酷な環境下、狭い場所や短時間での作業にも!

▼【耐高温】 インシュレータにPEEK材を使用したメタルハウジングモデルは 250℃までの高温環境での使用に耐えます。  ▼【真空】 お求め安い価格で漏れ率1x10⁻⁸ Pa. ㎥ /s以下のコンパクトな気密コネクタ ▼【高電圧】 最大50kVDCまで対応可。単極・多極・複合・気密等豊富なラインナップ "ノイズ対策に優れたレモオリジナル高電圧編組シールド付きケーブルもご用意" "(シールド付きPVC被覆線、試験電圧6~60kVDC対応、1重絶縁ケーブル、UL認定品 etc.)" ▼【小型同軸】 「00.250シリーズ」はBNCコネクタと比べて直径で約半分のサイズと小さく、加えて着脱に捻り等の動作を必要としないため、狭ピッチでの実装が可能です。 金メッキのモデルは、非磁性を要求されるアプリケーションに対応出来ます。 上記のような特徴を活かし、数多くのモデルを半導体製造装置でご使用いただいております。 ※詳細は資料請求していただくか、ダウンロードからPDFデータをご覧下さい。

    丸型コネクタ
semi-Lemo.jpg

「半導体製造装置用コネクタ」 高真空、耐高温、高電圧、高密度!

semi-Lemo.jpg
semi-Lemo.jpg
  • 関連リンク - https://www.lemo.com/ja/Online-Exhibition-semicond…

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基本情報

レモ社は、日本の半導体製造装置アプリケーション分野で20年以上の実績を持っています。 レモコネクタの特徴を活かし、ステッパーからロボット化した試験装置といった幅広いレンジの半導体製造装置でレモコネクタをご使用いただいております。 主なアプリケーション分野: 高密度 ■スパッタリング装置 ■ドライエッチング装置 ■露光装置用温度測定器 ■測長SEM他検査測定装置 高電圧 ■イオン注入装置 ■高電圧・高周波電源装置 ■PZT駆動装置 ■測長SEM他検査測定装置 気密(高真空)仕様 ■ウェハハンドリング ■セラミックヒータ ■電子ビーム描画装置 ■真空チャンバー  ■測長SEM他検査測定装置 耐高温/耐熱性 ■セラミックヒータ ■ドライエッチング装置 ■マスフローコントローラ ■モールド装置 ■露光装置光源 小型同軸 ■電子ビーム描画装置 ■測長SEM 他 検査測定装置 ■PZT駆動装置 ■各種センサ 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

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詳細情報

  • BSコネクタ 配置用jpg.jpg

    レモコネクタは数多くのモデルが半導体製造装置でご使用いただいております。 ■高密度/小型同軸/非磁性/高電圧シールドコネクタ:最大50kVDC 対応 ■信頼性の高い真空気密レセプタクルと真空フィールドスルーカプラ ■真空(気密)、He 漏れ率:1x10-7 mbar.l/s (1x10-8 Pa. ㎥ /s). 以下まで対応可能 ■耐高温・耐熱性(非防水モデル:~ 250℃、防水モデル:~ 200℃動作可能)

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半導体製造装置向けコネクタ【フライヤ】

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高電流・高周波対応可能の高電圧コネクタソリューション【資料】

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小型・高密度丸形コネクタソリューション装置・機器の小型化における課題と対策【資料】

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真空丸形コネクタソリューション 気密性を保持した状態で勘合が可能。【資料】

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この製品に関するニュース(4)

LEMOバーチャルブース12月オープン!

12月オープン!LEMOバーチャル展示会 開催のお知らせ

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例年であれば、この時期はセミコンが開催され、日本のみならず海外からもたくさんの来訪者が期待できるはずでしたが、今年はコロナ感染拡大に伴いフィジカルとしての展示会は中止となり、当社も出展を見送りました。 そのセミコンに代わる情報提供の場として、微力ながらこの時期に合わせて盛り上げたく、当社独自で『LEMO Semiconductor Solution on-line Exhibition』としてバーチャルブースをオープンいたします! さらに12月22日からは『TECHTALK』と題しまして、セミコン業界に関する5つのソリューションを3日に分けてウェビナーにてご紹介! Q&Aコーナーもございますのでこの機会にぜひご参加ください。 ▼WEB展示会詳細はこちら(2025年3月URLが変更になりました) https://www.lemo.com/ja/article/teshesaito-webzhanshihui3tsutongshikaicuizhong 【基本情報】 ・ウェビナー開催 ・採用事例紹介 ・オンライン商談予約 ・LEMOコネクタソリューション紹介動画など

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オンラインでのお打ち合わせも承ります

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新型コロナウイルスの感染防止対策として、 Web会議サービスZoomを利用した「オンライン商談」を開始しております。 お客様はご自身の会社、またはご自宅にいながら、様々なやり取りをリアルタイムに行えます。 現在、外出を控えておられる方、テレワークの方、遠方の方で直接商談がしたいというお客様、是非ご活用ください。 ・コネクタ選定のご相談 ・技術的なご相談 ・課題把握のご協力から課題解決 ・採用事例のご紹介 など、気軽にご相談ください。 ▶オンライン打ち合わせにご興味のある方へ◀ 下記関連リンク「オンラインでのお打ち合わせも承ります」から詳細をご覧いただけます。

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LEMO75周年ムービー

LEMO75周年ムービーがリリースされました!

  • 企業ニュース

LEMOは2021年に75周年を迎えます。 LEMO75年のストーリーとアイデンティティをまとめた3分間のムービーがリリースされました! この記念年を通して、私たちレモグループの歴史的なマイルストーンと旅をご紹介いたします。 ぜひご覧ください。 ※Youtube動画は下記関連リンク「LEMO75周年ムービーがリリースされました!」からご覧ください。

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レモジャパン SEMICON出展のお知らせ

SEMICON Japan 2019 出展

  • 企業ニュース

レモジャパンは、2019年12月11日(水)~13日(金)に東京ビッグサイトで開催される「SEMICON Japan」に出展いたします。 半導体製造・エレクトロ二クスデバイス製造装置に最適なコネクタやケーブル、ケーブル加工品など、幅広いコネクタソリューションをご紹介いたします。 弊社はお客様のご要望に応じた完全カスタム対応も可能です!是非この機会にご相談ください。 ■基本情報 場所      :東京ビッグサイト 西展示棟 弊社ブースNo.  :3656 (西展示棟1F) 公式ホームページ:SEMICON Japan 2019 ■SEMICON Japanの入場システムについて 招待状はありません。 事前入場登録を済ませますとスムーズにご入場いただけます。 事前入場登録:https://www.lemo.co.jp/semiconjapan201910/semiconjapan201910.html 入場バッジをプリントアウトしてご来場時にご持参ください。

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企業情報

レモジャパン株式会社

レモジャパン株式会社

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レモジャパンは、スイス本社から100%の出資を受けている外資系企業です。 レモジャパンは世界で最も品質基準の厳しい日本国内のお客様の為に、LEMOが世界で誇る高性能・高信頼性コネクタを取り扱い、さらにお客様の目線に立ったサービスの提供や、納期の対応をするべく拠点を設けております。 品質維持と品質向上のために、2002年にISO9001を、2004年にISO14001を取得。さらに2005年にはソニー株式会社様のグリーンパートナーとして認定されました。 スイス本国のコネクタ販売以外にも、お客様のニーズに合わせた特殊コネクタの開発やケーブルアッセンブリの対応にも力を入れております。 レモジャパンは日本国内に自社工場を保有し、コネクタの選定・ケーブルの選定は基より、部材調達・組立・検査を一貫して行える体制を整えております。 レモジャパンの強みは、レモのグローバルネットワークを利用し海外からも多種多様なコネクタ関連の製品調達やケーブル調達が出来ることです。 お客様のニーズにお応えするために幅広い選択肢を持ち、最も適したコネクタソリューションを提供し続けています。

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