レンズ用高精度3D測定機 MFU 200 Aspheric 3D

＼新カタログリリース！／ 一回のセットアップでレンズの 輪郭・粗さ・軸オフセット・ラジアル振れ・チルトエラーを測定！ 光学式センサーと接触式プローブアームの独自の組み合わせにより、 光学部品そのものを基準とするシステム。 球面・非球面・シリンダーレンズ・フリーフォームに好適です。 ＜特長＞ ■ 測定不確かさ<100nm PV ■ 最大45°までの傾斜を測定可能 ■ ISO 10110-5に準拠した評価 ■ 1台で複数の測定タスクを自動化 ■ 減衰機能を備えた測定キャビネット：製造現場近くで使用可能 ■ 温度安定性が高い：校正が最小限で済み、生産性が向上 ■ 自動センタリング・チルティングテーブル搭載：高い再現性と時短 ＜パワフルなレンズ測定用ソフトウエア＞ ◎AspericLibソフトウェアパッケージ 　球面・非球面・マウント面を測定し、結果を評価します。 ◎AnyShapeソフトウエアパッケージ 　軸外しレンズ、トロイダル、特殊レンズ、フリーフォームレンズなどの 　より複雑な形状に最適化されており、これらを評価することができます。

【『MarSurf CP/CL・CMシリーズ』最新測定事例集進呈中！】 ＜掲載測定事例／光学部品編 2023春編＞ ■ウエハーレベルレンズ／オプティクス（寸法・体積測定） ■マイクロレンズアレイ（幾何形状） ■車載用 LiDAR のマイクロレンズ（面精度（PV、RMS）） ■マイクロレンズ（設計図に対する形状検査） ■非球面マイクロレンズ（マスターとレプリカの比較）　　他 CLは高速ラインセンサを搭載。 Z方向0.02μmの高分解能で100×100mmサイズを約1分で測定。 CPは Z方向6nmの高分解能。 ワーキングディスタンス 70mmで、表面に高低差のあるワークにも対応。 CMはポータブル型を含む共焦点顕微鏡。 2nmの高分解能をもち、大型・動かせないワークにも好適。 評価項目例 3D／2D： ・表面粗さ(R)・断面粗さ(S)・輪郭・真直度 ・断面積・層厚・反り/平坦度・形状・体積／摩耗