小ロット・短いサイクルタイムで回せる スパッタリング装置
本装置は大型の製品にスパッタ・重合成膜が可能にもかかわらずハイサイクル稼働を実現したバッチ式の装置です。製品の品質や歩留まりを上げたい生産現 場に貢献します。
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基本情報
【特徴】 １．短いサイクルタイム（１サイクル／約４分） 120kW電源の搭載によるハイレートと、ポンプ３式の高速排気により実現 ２．大型基板の対応 基板設置エリアがΦ500mm×H1,200mmと広いため大型基板に成膜可能 ３．自動化で作業効率UP 真空槽扉の開閉及びスパッタカソードの開閉の自動化対応可能 ◆詳細はカタログをダウンロードしてご覧下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 装飾膜のコーティング 【製品例】自動車内装部品、自動車ヘッドランプリフレクター
企業情報
株式会社昭和真空は、真空中で特定の基板に薄膜を形成させる装置を主とした、真空蒸着装置やスパッタリング装置等の真空技術応用装置（真空装置）を製造販売しております。
