最小分解能2μmの高解像度で先端半導体パッケージの非破壊検査に対応可能なX線源
キヤノンアネルバ株式会社先端半導体のパッケージング技術が高度化する中、X線による非破壊検査でもますます高解像度の撮影が求められています。 キヤノンアネルバの『G-511シリーズ』は、高解像度・高倍率の撮影が可能な透過密閉型マイクロフォーカスX線源です。最小分解能2μmを実現し、生成AI等に使われる「先端半導体パッケージ」の非破壊検査に対応可能。3分以内で立ち上がるため素早く撮影でき、ターゲットの回転調整も不要です。


