ステージシステム - 企業ランキング(全8社)
更新日: 集計期間:2025年07月02日〜2025年07月29日
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会社名 | 代表製品 | ||
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製品画像・製品名・価格帯 | 概要 | 用途/実績例 | |
◆大気用位置決め装置 自社開発の光学式リニアスケールを搭載したフィードバックステージと、独自のフィードバック制御機能を有したフィードバックステージコントローラにより、 高分解能 ・ 高い繰り返し再現性 ・ 高位置保持性を達成した位置決め装置です。 ◆真空対応システム 光学式リニアスケールを内蔵したフィードバックステージと、自社独自の制御回路を搭載したフィードバック ステージコントローラとの組合せにより、真空内でのフルクローズドループフィードバック機能を実現してお ります。 | 精密な位置決めが必要な研究、開発、検査 光学分野の研究用途 半導体描画装置の試料ステージ 顕微鏡ステージ | ||
■ステージ 最小分解能:100nm or 50nm(内蔵スケールの読み取り値に対して) ストローク:20mm~400mm 最大移動速度:20mm/sec(ストロークや可動タイプにより異なります) ■コントローラ 制御軸数:2 最小指令単位:100nm or 50nm 最大動作速度設定値:100mm/sec(ステージの最大移動速度が優先されます) 制御インターフェース:ジョグコントローラ、緊急停止入力、GP-IB、USB、Ethernet、汎用I/O | 微細な位置決めを必要とする様々な分野。 検査装置及び露光装置 レーザー加工装置への応用 光学系の調整 バイオ関係の高再現性が必要な顕微鏡用ステージなど | ||
■ステージ 最小分解能:100nm or 50nm(内蔵スケールの読み取り値に対して) ストローク:20mm~100mm 最大移動速度:2mm/sec 対応真空度:10^-4 Pa ■コントローラ 制御軸数:2 最小指令単位:100nm or 50nm 最大動作速度設定値:100mm/sec(ステージの最大移動速度が優先されます) 制御インターフェース:ジョグコントローラ、緊急停止入力、GP-IB、USB、Ethernet、汎用I/O | 微細な位置決めを必要とする様々な分野。 X線を利用した研究分野 半導体分野 | ||
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- 代表製品
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総合フィードバックステージシステムカタログ(大気・真空)
- 概要
- ◆大気用位置決め装置 自社開発の光学式リニアスケールを搭載したフィードバックステージと、独自のフィードバック制御機能を有したフィードバックステージコントローラにより、 高分解能 ・ 高い繰り返し再現性 ・ 高位置保持性を達成した位置決め装置です。 ◆真空対応システム 光学式リニアスケールを内蔵したフィードバックステージと、自社独自の制御回路を搭載したフィードバック ステージコントローラとの組合せにより、真空内でのフルクローズドループフィードバック機能を実現してお ります。
- 用途/実績例
- 精密な位置決めが必要な研究、開発、検査 光学分野の研究用途 半導体描画装置の試料ステージ 顕微鏡ステージ
サブミクロンフィードバックステージシステム(精密位置決め装置)
- 概要
- ■ステージ 最小分解能:100nm or 50nm(内蔵スケールの読み取り値に対して) ストローク:20mm~400mm 最大移動速度:20mm/sec(ストロークや可動タイプにより異なります) ■コントローラ 制御軸数:2 最小指令単位:100nm or 50nm 最大動作速度設定値:100mm/sec(ステージの最大移動速度が優先されます) 制御インターフェース:ジョグコントローラ、緊急停止入力、GP-IB、USB、Ethernet、汎用I/O
- 用途/実績例
- 微細な位置決めを必要とする様々な分野。 検査装置及び露光装置 レーザー加工装置への応用 光学系の調整 バイオ関係の高再現性が必要な顕微鏡用ステージなど
真空対応サブミクロンフィードバックステージシステム
- 概要
- ■ステージ 最小分解能:100nm or 50nm(内蔵スケールの読み取り値に対して) ストローク:20mm~100mm 最大移動速度:2mm/sec 対応真空度:10^-4 Pa ■コントローラ 制御軸数:2 最小指令単位:100nm or 50nm 最大動作速度設定値:100mm/sec(ステージの最大移動速度が優先されます) 制御インターフェース:ジョグコントローラ、緊急停止入力、GP-IB、USB、Ethernet、汎用I/O
- 用途/実績例
- 微細な位置決めを必要とする様々な分野。 X線を利用した研究分野 半導体分野
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