リニアスケールフィードバックで高分解能・高再現性・高保持性を実現したステージ！百mmオーダーのストローク！
シグマテックが設計・製造・販売を行っている、大気用高分解能位置決め装置及び真空対応高分解能位置決め装置 （フィードバックステージシステム）の総合カタログ。 フィードバックス テージ ・ フィードバックステージコントローラ及びケーブル、オプションについての仕様・構成・価格などを網羅。 位置決めの事なら何でもご相談ください。 ■大気用システム特徴・説明 リニアスケールを内蔵した小型位置決め装置を開発・製造・販売しております。 ナノテクノロジーという言葉が生まれる前よりナノの位置決めを実現しておりました。そのノウハウを元にお客様のニーズに応えます。 ■真空対応システム特徴・説明 創業以来特注対応にて得た真空対応に対するノウハウを元に真空用途で高分解能及び高精度な再現性を御提供致します。 詳しくはカタログダウンロード、もしくはお問い合わせください。
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基本情報
◆大気用位置決め装置 自社開発の光学式リニアスケールを搭載したフィードバックステージと、独自のフィードバック制御機能を有したフィードバックステージコントローラにより、 高分解能 ・ 高い繰り返し再現性 ・ 高位置保持性を達成した位置決め装置です。 ◆真空対応システム 光学式リニアスケールを内蔵したフィードバックステージと、自社独自の制御回路を搭載したフィードバック ステージコントローラとの組合せにより、真空内でのフルクローズドループフィードバック機能を実現してお ります。
価格帯
納期
用途／実績例
精密な位置決めが必要な研究、開発、検査 光学分野の研究用途 半導体描画装置の試料ステージ 顕微鏡ステージ
詳細情報
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10nmフィードバックステージシステム 内蔵スケールに対して10nm分解能で動作する 位置決め装置 ストロークは20~150mmまで
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フィードバックステージ スケール内蔵のフィードバックステージ 様々な形状、ストロークを選択できます。
ラインアップ（9）
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| FC-901U | 1nm分解能ステージ用コントローラ モータードライバ、フィードバック回路内蔵 |
| FC-601A | 5nm分解能ステージ用コントローラ モータードライバ、フィードバック回路内蔵 |
| FC-501A | 10nm分解能ステージ用コントローラ モータードライバ、フィードバック回路内蔵 |
| FC-401 | 50nm分解能ステージ用コントローラ モータードライバ、フィードバック回路内蔵 |
| FC-101 | 100nm分解能ステージ用コントローラ モータードライバ、フィードバック回路内蔵 |
| FS-1020UPX | 20mmストローク、1nm分解能（内蔵スケール読み値）動作 |
| FS-1020SPX | 20mmストローク、5nm分解能（内蔵スケール読み値）動作 |
| FS-1020PX | 20mmストローク、10nm分解能（内蔵スケール読み値）動作 |
| FS-1020X | 20mmストローク、100nmまたは50nm分解能（内蔵スケール読み値）動作 |
カタログ（2）
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企業情報
シグマ光機グループは、グローバルブランド『OptoSigma』の名の下、国内外のマーケットに対して 「光ソリューション・カンパニー」としての使命、そして「感謝」「挑戦」「創出」の気持ちを胸に、 さらに積極的に事業を展開し継続的な成長を果たすべく全社一丸となって挑戦してまいります。 今後とも、真の「ものづくり」を追求するシグマ光機グループに、皆様のご理解とご支援を賜りますよう、心よりお願い申し上げます。