スパッタ装置 - 企業ランキング(全35社)

更新日：2025年08月13日集計期間:2025年07月16日〜2025年08月12日
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会社名	企業情報	代表製品
会社名	企業情報	製品画像・製品名・価格帯	概要	用途/実績例
日本エバテック株式会社	所在地大阪府従業員数 19 事業内容日本エバテック株式会社は、エバテックの日本法人として2018年7月2日に設立され、本社を大阪に置き、日本の顧客向けの営業、サービス活動を行っています。代表的な取り扱い装置・BAK/Multi BAK（真空蒸着装置）・LLS EVO II（LL式縦型スパッタリング装置）・CLUSTERLINE 200/300（ウェハー向けクラスタ式スパッタリング装置）・CLUSTERLINE 600（アドバンストパッケージング向けパネル特化型クラスタ式スパッタリング装置）・SOLARIS（様々な基板に対応可能なインライン式超高速スパッタリング装置）・HEXAGON（FOUP対応インライン式高速スパッタリング装置）主要取引先国内・海外大手半導体製造装置メーカー	超高速枚葉式スパッタ装置　SOLARISファミリー応相談	金属、透明電極、光学薄膜、保護膜、耐腐食膜、絶縁膜、加飾向け成膜可能 PVD（DC/DCパルス/RFスパッタ、リアクティブスパッタ、エッチングプロセスを搭載可能【ラインアップ】 ■SOLARIS S151 ■SOLARIS S380
日本エバテック株式会社		縦型スパッタリング装置　LLS EVO II 応相談	【その他の機能】 ■脱ガスおよびプロセス昇温用の基板ヒーター ■最大200×230mmのサイズ、最大17mmの厚さのさまざま種類の基板に対応 ■全面成膜またはカスタマイズされたエッジカット、エッジマスキング、　シャドウマスキング用の基板ツーリング ■オプションとしての6軸ロボットによる自動カセットToカセット処理	【用途】 ■金属、誘電体、磁性膜
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日本エバテック株式会社

所在地

大阪府

従業員数

19

事業内容

日本エバテック株式会社は、エバテックの日本法人として2018年7月2日に設立され、本社を大阪に置き、日本の顧客向けの営業、サービス活動を行っています。代表的な取り扱い装置・BAK/Multi BAK（真空蒸着装置）・LLS EVO II（LL式縦型スパッタリング装置）・CLUSTERLINE 200/300（ウェハー向けクラスタ式スパッタリング装置）・CLUSTERLINE 600（アドバンストパッケージング向けパネル特化型クラスタ式スパッタリング装置）・SOLARIS（様々な基板に対応可能なインライン式超高速スパッタリング装置）・HEXAGON（FOUP対応インライン式高速スパッタリング装置）

主要取引先

国内・海外大手半導体製造装置メーカー

代表製品

超高速枚葉式スパッタ装置　SOLARISファミリー

概要

金属、透明電極、光学薄膜、保護膜、耐腐食膜、絶縁膜、加飾向け成膜可能 PVD（DC/DCパルス/RFスパッタ、リアクティブスパッタ、エッチングプロセスを搭載可能【ラインアップ】 ■SOLARIS S151 ■SOLARIS S380

用途/実績例

縦型スパッタリング装置　LLS EVO II

概要

【その他の機能】 ■脱ガスおよびプロセス昇温用の基板ヒーター ■最大200×230mmのサイズ、最大17mmの厚さのさまざま種類の基板に対応 ■全面成膜またはカスタマイズされたエッジカット、エッジマスキング、　シャドウマスキング用の基板ツーリング ■オプションとしての6軸ロボットによる自動カセットToカセット処理

用途/実績例

【用途】 ■金属、誘電体、磁性膜
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所在地

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事業内容

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