スパッタ装置 - 企業ランキング(全45社)

更新日：2026年02月11日集計期間:2026年01月14日〜2026年02月10日
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会社名	企業情報	代表製品
会社名	企業情報	製品画像・製品名・価格帯	概要	用途/実績例
サンユー電子株式会社	所在地東京都従業員数 24 事業内容真空応用機器及び電子顕微鏡周辺機器の開発/設計/製造/販売主要取引先	デスクトップRFスパッタ装置『SVC-700RFIII』 500万円 ~ 1000万円	【製品仕様】スパッタ方式：RFマグネトロンスパッタ方式カソード：φ2インチ×3源/水冷式スパッタアップスパッタ電源：RF電源 13.56MHz Max. 200W(手動式マッチングユニット付) 到達真空度：10^-4 Pa台寸法：　SVC-700RFIII...
		多種金属対応！業界最小クラスの超コンパクトコーターです。 500万円 ~ 1000万円	【仕様】 ○ターゲットサイズ：φ49mm／t0.5mm(Max) ○適用可能ターゲット：Au/Pt/Au-Pd/Pt-Pd/Ag/Pd/W/Ni/Mo/Cr/Ti/Al ○試料サイズ：φ50mm(Max) ○排気操作：手動式 ○スパッタ方式：DCマグネトロン/平行平板型...	【用途】 ○各種デバイスの電極膜付け ○反射薄膜作製用途　等
		コンパクトコーター「SVC-700TMSG/Adexcel」 500万円 ~ 1000万円	【基本仕様（抜粋）】 ○放電形態：直流マグネトロン ○放電制御：定電流 30mA ○圧力制御：ニードルバルブによる手動制御 ○プロセス時間：最大15min/タイマー制御 ○プロセスガス：Ar（導入圧力 0.1MPa以下） ○プロセスガス導入口：φ6mmワンタッチ継手（...
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サンユー電子株式会社

所在地

東京都

従業員数

24

事業内容

真空応用機器及び電子顕微鏡周辺機器の開発/設計/製造/販売

主要取引先

代表製品

デスクトップRFスパッタ装置『SVC-700RFIII』

概要

【製品仕様】スパッタ方式：RFマグネトロンスパッタ方式カソード：φ2インチ×3源/水冷式スパッタアップスパッタ電源：RF電源 13.56MHz Max. 200W(手動式マッチングユニット付) 到達真空度：10^-4 Pa台寸法：　SVC-700RFIII...

用途/実績例

多種金属対応！業界最小クラスの超コンパクトコーターです。

概要

【仕様】 ○ターゲットサイズ：φ49mm／t0.5mm(Max) ○適用可能ターゲット：Au/Pt/Au-Pd/Pt-Pd/Ag/Pd/W/Ni/Mo/Cr/Ti/Al ○試料サイズ：φ50mm(Max) ○排気操作：手動式 ○スパッタ方式：DCマグネトロン/平行平板型...

用途/実績例

【用途】 ○各種デバイスの電極膜付け ○反射薄膜作製用途　等

コンパクトコーター「SVC-700TMSG/Adexcel」

概要

【基本仕様（抜粋）】 ○放電形態：直流マグネトロン ○放電制御：定電流 30mA ○圧力制御：ニードルバルブによる手動制御 ○プロセス時間：最大15min/タイマー制御 ○プロセスガス：Ar（導入圧力 0.1MPa以下） ○プロセスガス導入口：φ6mmワンタッチ継手（...

用途/実績例
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事業内容

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