Ni、Cr、W、Ti、Al等多種金属対応のハイスペックコンパクトコーター！
「SC-701Mk II ADVANCE」は、Ni、Cr、W、Ti、Al等、多種金属対応のハイスペックコンパクトコーターです。 DCスパッタのカテゴリーの内でシリーズ最小の超コンパクトモデルです。 各種金属の薄膜作製を、コンパクトで使いやすい装置で手軽に行なえます。 【特徴】 ○真空計を装備し、成膜条件の再現性を確保 ○スモール、コンパクト＆ハイスペック ○手動式シャッター標準装備 ○専用試料台とステージで、簡単にT-S間距離をかえられます ○タングステンコートが可能なため、高分解能SEM用試料作製にも利用可 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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基本情報
【仕様】 ○ターゲットサイズ：φ49mm／t0.5mm(Max) ○適用可能ターゲット：Au/Pt/Au-Pd/Pt-Pd/Ag/Pd/W/Ni/Mo/Cr/Ti/Al ○試料サイズ：φ50mm(Max) ○排気操作：手動式 ○スパッタ方式：DCマグネトロン/平行平板型 ○排気装置：直結型ロータリーポンプ 20L/min（自動リーク付） ○寸法(W/D/H):200/450/290mm
価格情報
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価格帯
100万円 ~ 500万円
納期
用途／実績例
【用途】 ○各種デバイスの電極膜付け ○反射薄膜作製用途 等
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企業情報
経営理念は、「コア技術で研究開発の未来を切り拓く」こと。 研究／開発に携わる方々が、実験において必要とするものを必要なときに提供させていただくことをモットーとし、“装置の機能拡張性を高める”とともに、“多彩なオプション”をご用意しております。 また、“フットワークの軽さ”を武器に、お客様の様々なニーズにお応えできるよう、日々努めております。
