ポート - 企業ランキング(全36社)
更新日: 集計期間:2025年03月26日〜2025年04月22日
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企業情報を表示
会社名 | 代表製品 | ||
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製品画像・製品名・価格帯 | 概要 | 用途/実績例 | |
【仕様(抜粋)】 ■対象FOUP ・Entegris:F300 Auto Pod・A300-G3・SPECTRA ・信越ポリマー:FOUP 300E・FOUP 300EX ・ミライアル:KT-3003 ・大日商事:SF300-02 ・その他:SEMI E47.1、及びE62 に準拠する300mmFOUP ■外形寸法・重量 ・全高:1,386mm ・全幅:472mm ・奥行:493mm(BOLTS 面より) ・重量:30kg(各種オプションを含まず) | |||
【仕様】 ■対象FOUP ・300mmFOUP(ウエハ25枚用) ・SEMI E47.1、E62準拠品 ■FOUPクランプ ・キネマティックピン位置決メ ・Front Retaining Featureを使用(エア駆動) ■FOUPドア固定:真空吸着 など | |||
【仕様(抜粋)】 ■対象FOUP ・SEMI-E158 及び E154 に準拠する450mmFOUP ■外形寸法・重量 ・全高:1437mm ・全幅:630mm ・奥行:573mm(BOLTS インターフェース面より) ・重量:115kg(マッパー以外の各種オプションを含まず) ■ドッキングメカニズム ・FOUP クランプ:Hold Down Feature(エア駆動) ・FOUP ドア保持:真空吸着 ・ドッキング時のウエハ位置:BOLTS インターフェース面より254mm | |||
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- 代表製品
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FOUPロードポート『TAS300』
- 概要
- 【仕様(抜粋)】 ■対象FOUP ・Entegris:F300 Auto Pod・A300-G3・SPECTRA ・信越ポリマー:FOUP 300E・FOUP 300EX ・ミライアル:KT-3003 ・大日商事:SF300-02 ・その他:SEMI E47.1、及びE62 に準拠する300mmFOUP ■外形寸法・重量 ・全高:1,386mm ・全幅:472mm ・奥行:493mm(BOLTS 面より) ・重量:30kg(各種オプションを含まず)
- 用途/実績例
FOUPロードポート『TAS300 Type-4E』
- 概要
- 【仕様】 ■対象FOUP ・300mmFOUP(ウエハ25枚用) ・SEMI E47.1、E62準拠品 ■FOUPクランプ ・キネマティックピン位置決メ ・Front Retaining Featureを使用(エア駆動) ■FOUPドア固定:真空吸着 など
- 用途/実績例
FOUPロードポート『TAS450』
- 概要
- 【仕様(抜粋)】 ■対象FOUP ・SEMI-E158 及び E154 に準拠する450mmFOUP ■外形寸法・重量 ・全高:1437mm ・全幅:630mm ・奥行:573mm(BOLTS インターフェース面より) ・重量:115kg(マッパー以外の各種オプションを含まず) ■ドッキングメカニズム ・FOUP クランプ:Hold Down Feature(エア駆動) ・FOUP ドア保持:真空吸着 ・ドッキング時のウエハ位置:BOLTS インターフェース面より254mm
- 用途/実績例
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