徹底したクリーン化性能、信頼性設計！45nmクリーンテクノロジー
『TAS300 Type-4E』は、徹底した装置クリーン化設計と配線・配管部の 稼動時非接触を実現したFOUPロードポートです。 微小なバーティクル発生を極限まで抑制。PWP試験において 世界最高レベルとなっております。 またFOUPごとの微差(公差)に対応する独自機構が、FOUPとロードポート の衝突を防ぎ、確実なラッチキー挿入で、高い互換性をも実現します。 【特長】 ■業界最高レベルのクリーン度を実現 ■高い互換性 各社FOUPに対応 ■メンテナンス性を向上 ■高信頼性・高耐久 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。
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基本情報
【仕様】 ■対象FOUP ・300mmFOUP(ウエハ25枚用) ・SEMI E47.1、E62準拠品 ■FOUPクランプ ・キネマティックピン位置決メ ・Front Retaining Featureを使用(エア駆動) ■FOUPドア固定：真空吸着 など ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。
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企業情報
TDK株式会社は、主に磁気ヘッド、マグネット、電源、電池などのデバイスを開発、製品化している会社です。当社の主力製品は、フェライトコア、コイル、トランス、セラミックコンデンサ、センサなどの受動部品と呼ばれる、あらゆる電気・電子機器に使われる基礎部品です。現在は、これらで蓄積し、磨き上げた技術とノウハウをベースに、商品の開発、製品化を行っております。