マッピング装置 - 企業ランキング(全8社)
更新日: 集計期間:2025年08月06日〜2025年09月02日
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会社名 | 代表製品 | ||
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製品画像・製品名・価格帯 | 概要 | 用途/実績例 | |
![]() PLマッピング 装置 YWafer Mapper RD8
1000万円 ~ 5000万円 |
【仕様】 ○基本型式:YWAFER-RD8-CP ○光学範囲および感度型式一覧: 200nm - 2200nm ○対応ウェーハサイズ:2,3,4,6,8インチその他(200x200mmまで) ○マッピング間隔: 0.01mm~(0.02mm繰り返し精度) | 例) AlGaNエピタキシャル層中のアルミニウム濃度の測定 エピタキシャル層の厚さの測定 PLマッピングによる欠陥分析の実施 etc | |
![]() YWafer Mapper RD8-WL
1000万円 ~ 5000万円 |
【仕様】 ○基本型式:YWAFER-RD8-WL26、YWAFER-RD8-WL48 ○光学範囲および感度型式一覧: 200nm - 2200nm ○測定対応ウェーハサイズ:2,3,4,6,8インチその他(200x200mmまで) ○マッピング間隔:0.01mm~(0.02mm繰り返し精度) ○ロボット搬送:25枚カセットx2 ○搬送対応ウェーハサイズ:2~6インチ又は4~8インチ | ||
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- 代表製品
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PLマッピング 装置 YWafer Mapper RD8
- 概要
- 【仕様】 ○基本型式:YWAFER-RD8-CP ○光学範囲および感度型式一覧: 200nm - 2200nm ○対応ウェーハサイズ:2,3,4,6,8インチその他(200x200mmまで) ○マッピング間隔: 0.01mm~(0.02mm繰り返し精度)
- 用途/実績例
- 例) AlGaNエピタキシャル層中のアルミニウム濃度の測定 エピタキシャル層の厚さの測定 PLマッピングによる欠陥分析の実施 etc
YWafer Mapper RD8-WL
- 概要
- 【仕様】 ○基本型式:YWAFER-RD8-WL26、YWAFER-RD8-WL48 ○光学範囲および感度型式一覧: 200nm - 2200nm ○測定対応ウェーハサイズ:2,3,4,6,8インチその他(200x200mmまで) ○マッピング間隔:0.01mm~(0.02mm繰り返し精度) ○ロボット搬送:25枚カセットx2 ○搬送対応ウェーハサイズ:2~6インチ又は4~8インチ
- 用途/実績例
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