カスタマイズ可 波長範囲: 200nm - 5nu 対応 ウェーハ マッピング装置 ウェハ PL フォトルミネッセンス 多機能
RD8シリーズ ウェーハ マッピング装置 RD8シリーズは最大測定面積 200×200 mm までの様々なウェーハサイズや形状に対応した装置です。基本測定にはフォトルミネッセンス、エピタキシャル膜厚、ウェーハ反り、透過率・反射率、裏面照射蛍光体分析、ウェーハ板厚の測定が含まれております。 お客様のご要望に合わせて個別対応もさせていただきます。
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基本情報
【仕様】 ○基本型式：YWAFER-RD8-CP ○光学範囲および感度型式一覧： 200nm - 2200nm ○対応ウェーハサイズ：２，３，４，６，８インチその他（200x200mmまで） ○マッピング間隔： 0.01mm～(0.02mm繰り返し精度) ●その他機能や詳細についてはお問い合わせください。
価格情報
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価格帯
1000万円 ~ 5000万円
納期
※3～4ヶ月
用途／実績例
例） AlGaNエピタキシャル層中のアルミニウム濃度の測定 エピタキシャル層の厚さの測定 PLマッピングによる欠陥分析の実施 etc ●その他機能や詳細についてはお問い合わせください。
ラインアップ（1）
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| YWafer Mapper GS4 | YWafer Mapper RD8-WL |
企業情報
有限会社ワイ・システムズは、LEDの主な材料となる窒化物系ウェーハ（基板）の評価・測定装置の開発、製造、販売を行う会社です。現在13人ですが、弊社ブランドは国際的に評価され、徐々に規模を広げています。LEDをはじめ光半導体関連の研究開発が盛んな徳島でベンチャー企業として創業して以来20年、現在は国内のみならず、台湾、韓国、中国、ヨーロッパなどのLEDやレーザーダイオード、光学材料のメーカーと研究機関向けに装置を販売しています。今後も光半導体関連装置の開発に取り組み、グローバルに“ ワイ・システムズ” のブランドを日本から発信していきます。