ミリング装置 - 企業ランキング(全9社)
更新日: 集計期間:2026年09月09日〜2026年10月06日
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| 会社名 | 代表製品 | ||
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| 製品画像・製品名・価格帯 | 概要 | 用途/実績例 | |
| 特長 最新設計のグリッドによる8インチ基板への均一なエッチング イオンソース冷却機構の最適化による高レートエッチングの連続運転改善 基板保持部の傾斜機構をダイレクト駆動方式より高速化 最新OSの採用と制御システムの改善による装置安定稼働 他社製プロセスモジュールをドッキングできる... | 主なアプリケーション ・PZT膜 エッチング・ミリング ・微細加工・パターニング・成形 ・通信およびマイクロ波コンポーネント ・ハードディスクドライブ、MRAM、その他の磁気デバイス ・光学センサー ・MEMS回路とセンサー | ||
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- 代表製品
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イオンビームエッチング・ミリング(IBE)装置
- 概要
- 特長 最新設計のグリッドによる8インチ基板への均一なエッチング イオンソース冷却機構の最適化による高レートエッチングの連続運転改善 基板保持部の傾斜機構をダイレクト駆動方式より高速化 最新OSの採用と制御システムの改善による装置安定稼働 他社製プロセスモジュールをドッキングできる...
- 用途/実績例
- 主なアプリケーション ・PZT膜 エッチング・ミリング ・微細加工・パターニング・成形 ・通信およびマイクロ波コンポーネント ・ハードディスクドライブ、MRAM、その他の磁気デバイス ・光学センサー ・MEMS回路とセンサー
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