干渉計 - 企業ランキング(全17社)
更新日： 集計期間:2025年07月30日〜2025年08月26日
※当サイトの各ページの閲覧回数を元に算出したランキングです。
企業情報を表示
| 会社名 | 代表製品 | ||
|---|---|---|---|
| 製品画像・製品名・価格帯 | 概要 | 用途/実績例 | |
| 直線位置決め 測定範囲:±5 m、精度:0.0005%(波長補正なし)、分解能10 nm ヨーイング 測定範囲：±3600アーク秒: ±5°（角度補正）、精度±0.2%（表示値より）、分解能：0.1アーク秒 ピッチング 測定範囲：±3600アーク秒: ±5°（角度補正）、精度±0.2%（表示値より）、分解能：0.1アーク秒 ローリング 測定範囲：±3000アーク秒: ±3°（角度補正）、精度±0.3%（表示値より）、分解能：0.5アーク秒 水平度 測定範囲：±500µm、精度:±2µm+0.5µm/m、分解能：0.5µm 垂直度 測定範囲：±500µm、精度:±2µm+0.5µm/m、分解能：0.5µm 振動 測定範囲：±500µm（X,Y,Z軸同時）、精度:±2µm+0.5µm/m、分解能：0.5µm データ平滑処理 10‐75秒間にセット可能（アプリケーションによる） | 干渉計用光学部品として ウエハ・FPDステッパーなどの半導体製造装置、CNCマシンなど工作機械分野や、モーションシステムの変位測定や各国の標準研究機関など、5000件を超える納入実績があり、世界でディファクトスタンダートになっています。 様々なアプリケーションに対して、線形干渉計、平面鏡干渉計、微分干渉計、シングルビーム干渉計、角度干渉計、真直度干渉計などの光学系を多数ご用意しています。また、真空対応の干渉計、ビームベンダー、ビームスプリッターも用意しています。 | ||
|
---
--- |
--- | --- | |
オーテックス株式会社
-
- 代表製品
-
Excel Precision 高精度6DOFレーザー干渉計
- 概要
- 直線位置決め 測定範囲:±5 m、精度:0.0005%(波長補正なし)、分解能10 nm ヨーイング 測定範囲：±3600アーク秒: ±5°（角度補正）、精度±0.2%（表示値より）、分解能：0.1アーク秒 ピッチング 測定範囲：±3600アーク秒: ±5°（角度補正）、精度±0.2%（表示値より）、分解能：0.1アーク秒 ローリング 測定範囲：±3000アーク秒: ±3°（角度補正）、精度±0.3%（表示値より）、分解能：0.5アーク秒 水平度 測定範囲：±500µm、精度:±2µm+0.5µm/m、分解能：0.5µm 垂直度 測定範囲：±500µm、精度:±2µm+0.5µm/m、分解能：0.5µm 振動 測定範囲：±500µm（X,Y,Z軸同時）、精度:±2µm+0.5µm/m、分解能：0.5µm データ平滑処理 10‐75秒間にセット可能（アプリケーションによる）
- 用途/実績例
- 干渉計用光学部品として ウエハ・FPDステッパーなどの半導体製造装置、CNCマシンなど工作機械分野や、モーションシステムの変位測定や各国の標準研究機関など、5000件を超える納入実績があり、世界でディファクトスタンダートになっています。 様々なアプリケーションに対して、線形干渉計、平面鏡干渉計、微分干渉計、シングルビーム干渉計、角度干渉計、真直度干渉計などの光学系を多数ご用意しています。また、真空対応の干渉計、ビームベンダー、ビームスプリッターも用意しています。
-
オーテックス株式会社
すべてを閲覧するには会員登録（無料）が必要です。
すでに会員の方はこちら
