現像装置 - 企業ランキング(全24社)
更新日: 集計期間:2025年11月05日〜2025年12月02日
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企業情報を表示
| 会社名 | 代表製品 | ||
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| 製品画像・製品名・価格帯 | 概要 | 用途/実績例 | |
| 【主な仕様例】 ■カセットステージ:2組 ■スピン塗布ユニット:1組 ■スピン現像ユニット:1組 ■ウエハサイズ:Φ2"~Φ12" ■レジスト滴下ノズル:1組 ■バック・エッジリンス:1組/塗布CUP ■現像ノズル:1組 ■リンスノズル:1組 ■ベークユニット:... | |||
| 【主な仕様例】 ■カセットステージ:2組 ■スピン塗布ユニット:1組 ■スピン現像ユニット:1組 ■ウエハサイズ:Φ2"~Φ12(角基板対応)" ■レジスト滴下ノズル:1組 ■現像ノズル:1組 ■リンスノズル:1組 ■ベークユニット:3組(Max200℃) ■ク... | |||
| 【主な仕様】 ■カセットステージ:2組 ■スピン現像ユニット:2組 ■ウエハサイズ:Φ2"~Φ12" ■現像ノズル:1組/CUP ■リンスノズル:1組/CUP ■ベークユニット:2組(Max200℃) ■クーリングユニット:1組 ■センタリングユニット:1組 ■... | LED、LD、SAWフィルター、パワーデバイス等の分野で実績があります。 | ||
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- 代表製品
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自動フォトレジスト塗布・現像装置(コーター・デベロッパー)
- 概要
- 【主な仕様例】 ■カセットステージ:2組 ■スピン塗布ユニット:1組 ■スピン現像ユニット:1組 ■ウエハサイズ:Φ2"~Φ12" ■レジスト滴下ノズル:1組 ■バック・エッジリンス:1組/塗布CUP ■現像ノズル:1組 ■リンスノズル:1組 ■ベークユニット:...
- 用途/実績例
角基板対応自動レジスト塗布・現像装置(コーター・デベロッパー)
- 概要
- 【主な仕様例】 ■カセットステージ:2組 ■スピン塗布ユニット:1組 ■スピン現像ユニット:1組 ■ウエハサイズ:Φ2"~Φ12(角基板対応)" ■レジスト滴下ノズル:1組 ■現像ノズル:1組 ■リンスノズル:1組 ■ベークユニット:3組(Max200℃) ■ク...
- 用途/実績例
逆テーパー角を一定に!PEB対応レジスト現像装置(デベロッパー)
- 概要
- 【主な仕様】 ■カセットステージ:2組 ■スピン現像ユニット:2組 ■ウエハサイズ:Φ2"~Φ12" ■現像ノズル:1組/CUP ■リンスノズル:1組/CUP ■ベークユニット:2組(Max200℃) ■クーリングユニット:1組 ■センタリングユニット:1組 ■...
- 用途/実績例
- LED、LD、SAWフィルター、パワーデバイス等の分野で実績があります。
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