現像装置 - 企業ランキング(全23社)
更新日: 集計期間:2025年08月06日〜2025年09月02日
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企業情報を表示
会社名 | 代表製品 | ||
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製品画像・製品名・価格帯 | 概要 | 用途/実績例 | |
【主な仕様】 ■カセットステージ:2組 ■スピン現像ユニット:2組 ■ウエハサイズ:Φ2"~Φ12" ■現像ノズル:1組/CUP ■リンスノズル:1組/CUP ■ベークユニット:4組(Max200℃) ■クーリングユニット:2組 ■センタリングユニット:1組 ■装置サイズ:(例)1400×1100×1800(Φ4"本体) 400×900×1800(薬液供給+電源BOX) ■ウェハ搬送ロボット:1組(ダブルアームクリーンロボット) その他オプション多数! | パワーデバイス、SAWフィルター、LED、LD、通信関係の分野での販売実績がございます。 | ||
【主な仕様】 ■カセットステージ:2組 ■スピン現像ユニット:2組 ■ウエハサイズ:Φ2"~Φ12" ■現像ノズル:1組/CUP ■リンスノズル:1組/CUP ■ベークユニット:2組(Max200℃) ■クーリングユニット:1組 ■センタリングユニット:1組 ■装置サイズ:(例)1200×1000×1800(Φ4"本体) 1600×2500×1800(Φ12"本体) ■ウェハ搬送ロボット:1組(ダブルアームクリーンロボット) その他オプション多数! | LED、LD、SAWフィルター、パワーデバイス等の分野で実績があります。 | ||
【主な仕様】 ■カセットステージ:2組 ■スピン現像ユニット:2組 ■ウエハサイズ:Φ2"~Φ12" ■現像ノズル:1組/CUP ■リンスノズル:1組/CUP ■ベークユニット:2組(Max200℃) ■クーリングユニット:1組 ■センタリングユニット:1組 ■UV露光ユニット(LED光源もお選びいただけます) ■装置サイズ:(例)1200×1000×1800(Φ4"本体) 1600×2500×1800(Φ12"本体) ■ウェハ搬送ロボット:1組(ダブルアームクリーンロボット) その他オプション多数! | |||
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- 代表製品
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静止現像式(パドル)自動フォトレジスト現像装置(デベロッパー)
- 概要
- 【主な仕様】 ■カセットステージ:2組 ■スピン現像ユニット:2組 ■ウエハサイズ:Φ2"~Φ12" ■現像ノズル:1組/CUP ■リンスノズル:1組/CUP ■ベークユニット:4組(Max200℃) ■クーリングユニット:2組 ■センタリングユニット:1組 ■装置サイズ:(例)1400×1100×1800(Φ4"本体) 400×900×1800(薬液供給+電源BOX) ■ウェハ搬送ロボット:1組(ダブルアームクリーンロボット) その他オプション多数!
- 用途/実績例
- パワーデバイス、SAWフィルター、LED、LD、通信関係の分野での販売実績がございます。
逆テーパー角を一定に!PEB対応レジスト現像装置(デベロッパー)
- 概要
- 【主な仕様】 ■カセットステージ:2組 ■スピン現像ユニット:2組 ■ウエハサイズ:Φ2"~Φ12" ■現像ノズル:1組/CUP ■リンスノズル:1組/CUP ■ベークユニット:2組(Max200℃) ■クーリングユニット:1組 ■センタリングユニット:1組 ■装置サイズ:(例)1200×1000×1800(Φ4"本体) 1600×2500×1800(Φ12"本体) ■ウェハ搬送ロボット:1組(ダブルアームクリーンロボット) その他オプション多数!
- 用途/実績例
- LED、LD、SAWフィルター、パワーデバイス等の分野で実績があります。
リフトオフ(イメージリバーサル)対応フォトレジスト現像装置
- 概要
- 【主な仕様】 ■カセットステージ:2組 ■スピン現像ユニット:2組 ■ウエハサイズ:Φ2"~Φ12" ■現像ノズル:1組/CUP ■リンスノズル:1組/CUP ■ベークユニット:2組(Max200℃) ■クーリングユニット:1組 ■センタリングユニット:1組 ■UV露光ユニット(LED光源もお選びいただけます) ■装置サイズ:(例)1200×1000×1800(Φ4"本体) 1600×2500×1800(Φ12"本体) ■ウェハ搬送ロボット:1組(ダブルアームクリーンロボット) その他オプション多数!
- 用途/実績例
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