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移載装置 - 企業ランキング(全19社)

更新日: 集計期間:2025年09月10日〜2025年10月07日
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会社名 代表製品
製品画像・製品名・価格帯 概要 用途/実績例
ウェハ搬送移載装置は、オープンカセット内のウェハを別のオープンカセット・石英(SiC)ボート等へ自動移載する装置です。 2カセット同時やピッチ変換・FtoF(BtoB)等の機能を付加可能です。 ・オープンカセット←→オープンカセット移載 ・オープンカセット←→石英(SiC)ボート... 【用途】  ・拡散工程/洗浄工程前後の運搬カセット-プロセス専用カセット間のウェハ移載
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  1. 代表製品
    ウェハ搬送移載装置「ピッチ変換」「Face to Face移載」ウェハ搬送移載装置「ピッチ変換」「Face to Face移載」
    概要
    ウェハ搬送移載装置は、オープンカセット内のウェハを別のオープンカセット・石英(SiC)ボート等へ自動移載する装置です。 2カセット同時やピッチ変換・FtoF(BtoB)等の機能を付加可能です。 ・オープンカセット←→オープンカセット移載 ・オープンカセット←→石英(SiC)ボート...
    用途/実績例
    【用途】  ・拡散工程/洗浄工程前後の運搬カセット-プロセス専用カセット間のウェハ移載