移載装置 - 企業ランキング(全19社)
更新日: 集計期間:2025年09月10日〜2025年10月07日
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会社名 | 代表製品 | ||
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製品画像・製品名・価格帯 | 概要 | 用途/実績例 | |
ウェハ搬送移載装置は、オープンカセット内のウェハを別のオープンカセット・石英(SiC)ボート等へ自動移載する装置です。 2カセット同時やピッチ変換・FtoF(BtoB)等の機能を付加可能です。 ・オープンカセット←→オープンカセット移載 ・オープンカセット←→石英(SiC)ボート... | 【用途】 ・拡散工程/洗浄工程前後の運搬カセット-プロセス専用カセット間のウェハ移載 | ||
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- 代表製品
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ウェハ搬送移載装置「ピッチ変換」「Face to Face移載」
- 概要
- ウェハ搬送移載装置は、オープンカセット内のウェハを別のオープンカセット・石英(SiC)ボート等へ自動移載する装置です。 2カセット同時やピッチ変換・FtoF(BtoB)等の機能を付加可能です。 ・オープンカセット←→オープンカセット移載 ・オープンカセット←→石英(SiC)ボート...
- 用途/実績例
- 【用途】 ・拡散工程/洗浄工程前後の運搬カセット-プロセス専用カセット間のウェハ移載
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