装置部品 - 企業ランキング(全45社)
更新日: 集計期間:2025年12月17日〜2026年01月13日
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| 会社名 | 代表製品 | ||
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| 製品画像・製品名・価格帯 | 概要 | 用途/実績例 | |
| 韓国で5nmといった最先端の微細化技術を使った製造プロセスで採用されるという実績をもとに、当社は2019年に日本で設立されました。日本の半導体製造業をサポートすべく、エッチング装置部品に成膜致します。第一段階として誘電体窓にY2O3(酸化イットリウム)やYOF(酸フッ化イットリウ... | |||
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- 代表製品
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【高耐食性Y2O3/YOF膜事例】エッチング装置部品の保護膜に
- 概要
- 韓国で5nmといった最先端の微細化技術を使った製造プロセスで採用されるという実績をもとに、当社は2019年に日本で設立されました。日本の半導体製造業をサポートすべく、エッチング装置部品に成膜致します。第一段階として誘電体窓にY2O3(酸化イットリウム)やYOF(酸フッ化イットリウ...
- 用途/実績例
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つばさ真空理研株式会社 横浜ラボラトリー