スピン洗浄機 - 企業ランキング(全5社)
更新日: 集計期間:2025年03月26日〜2025年04月22日
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会社名 | 代表製品 | ||
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製品画像・製品名・価格帯 | 概要 | 用途/実績例 | |
![]() ME-5000R 全自動ウエハースピン洗浄装置
1000万円 ~ 5000万円 |
装置寸法 Size: W1300×D1800×H2000 (300mm)/ W1100×D1400×H2000 (8インチ) 工程 Process: カセットを手動で設置→扉を閉めて運転開始→ロボットにてカセット上部より1枚づつセンターリング部に移載→4本のシリンダーにてセンターリング→ロボットにてセンターリング部からウエハーを洗浄装置に送る→二流体洗浄・超音波洗浄・乾燥→ロボットにて洗浄装置からウエハーを排出カセットに送る 洗浄物 Cleaning stuff: 300mm 及び 8インチウエハー 300mm or 8inches wafer クリーン度 The degree of cleanliness: クラス100程度 About class 100 機械重量 Weight of the machine: 600kg 以内 within 600kg | ダイシング後の洗浄用途に最適 携帯用カメラモジュール用 | |
![]() 『ME500-2611』 卓上型自動スピン洗浄装置
1000万円 ~ 5000万円 |
本装置は、対象ワークを手動にてセットしスピン回転により超音波洗浄、純水リンスエアーブロー乾燥を行う卓上型自動スピン洗浄機です。 | ガラス基板、ウエハの洗浄 | |
アルカリ対応スピン洗浄装置
1000万円 ~ 5000万円 |
洗浄ワーク ●PETフィルム及びガラス基板 50~300角 t=0.7、1.1mm ●8,12インチウエハ 各種ワーク対応(オプション) 洗浄水 ●アルカリ ●純水 ●水素溶解水 ●オゾン水 対応回転数 MAX 3000rpm 純水供給部 0.3Mpa 以上 N2ブロー乾燥 N2ブロー乾形寸法 外形寸法 W1180×D1350×H1610 | ●PETフィルム及びガラス基板 50~300角 t=0.7、1.1mm ●8,12インチウエハ 各種ワーク対応(オプション) | |
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- 代表製品
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ME-5000R 全自動ウエハースピン洗浄装置
- 概要
- 装置寸法 Size: W1300×D1800×H2000 (300mm)/ W1100×D1400×H2000 (8インチ) 工程 Process: カセットを手動で設置→扉を閉めて運転開始→ロボットにてカセット上部より1枚づつセンターリング部に移載→4本のシリンダーにてセンターリング→ロボットにてセンターリング部からウエハーを洗浄装置に送る→二流体洗浄・超音波洗浄・乾燥→ロボットにて洗浄装置からウエハーを排出カセットに送る 洗浄物 Cleaning stuff: 300mm 及び 8インチウエハー 300mm or 8inches wafer クリーン度 The degree of cleanliness: クラス100程度 About class 100 機械重量 Weight of the machine: 600kg 以内 within 600kg
- 用途/実績例
- ダイシング後の洗浄用途に最適 携帯用カメラモジュール用
『ME500-2611』 卓上型自動スピン洗浄装置
- 概要
- 本装置は、対象ワークを手動にてセットしスピン回転により超音波洗浄、純水リンスエアーブロー乾燥を行う卓上型自動スピン洗浄機です。
- 用途/実績例
- ガラス基板、ウエハの洗浄
アルカリ対応スピン洗浄装置
- 概要
- 洗浄ワーク ●PETフィルム及びガラス基板 50~300角 t=0.7、1.1mm ●8,12インチウエハ 各種ワーク対応(オプション) 洗浄水 ●アルカリ ●純水 ●水素溶解水 ●オゾン水 対応回転数 MAX 3000rpm 純水供給部 0.3Mpa 以上 N2ブロー乾燥 N2ブロー乾形寸法 外形寸法 W1180×D1350×H1610
- 用途/実績例
- ●PETフィルム及びガラス基板 50~300角 t=0.7、1.1mm ●8,12インチウエハ 各種ワーク対応(オプション)
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