レジスト剥離装置 - 企業ランキング(全5社)
更新日: 集計期間:2026年07月08日〜2026年08月04日
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企業情報を表示
| 会社名 | 代表製品 | ||
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| 製品画像・製品名・価格帯 | 概要 | 用途/実績例 | |
【半導体微細化向け】レジスト剥離・リフトオフ装置/高田工業
1000万円 ~ 5000万円 |
【特長】 * スカラロボットによる自動搬送 * 薬液昇温機能 * 自動消火システム、防爆ガラス等の安全仕様 * チャンバー内部の自動クリーニング機能 【当社の強み】 お客様のニーズに柔軟、迅速に対応。「商社」機能と「メーカ」機能を併せ持ち、多様なビジネスソリュー... | 光デバイス(LED等)、SAWデバイス、パワーデバイス、高周波デバイス、MEMS等 | |
【MEMS向け】枚葉式自動レジスト剥離・リフトオフ装置/高田工業
1000万円 ~ 5000万円 |
【特長】 ・昇温した有機薬液と高圧ジェットの併用による高い剥離性能 ・コンパクト設計による省スペース化 ・1チャンバー完結によるハイスループット化 ・薬液分離回収によるランニングコスト削減 【当社の強み】 「モノづくり(メーカー)機能」と「商社機能」を併せ持ち、お客様のニーズに... | 光デバイス(LED等)、SAWデバイス、パワーデバイス、高周波デバイス、MEMS等 | |
【MEMS向け】枚葉式自動レジスト剥離・リフトオフ装置/高田工業
1000万円 ~ 5000万円 |
【特長】 ・高い剥離性能をもつ独自のジェットリフトオフ機構 ・多品種少量・生産量の変動への対応に向けた、フレキシビリテイの 向上とランニングコストの削減 ・枚葉化による品質・歩留り向上( クロスコンタミの無い精密処理の実現と面内の均一性・制御性の向上) ・チャンバー内部の自動クリ... | 光デバイス(LED等)、SAWデバイス、パワーデバイス、高周波デバイス、MEMS等 | |
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- 代表製品
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【半導体微細化向け】レジスト剥離・リフトオフ装置/高田工業
- 概要
- 【特長】 * スカラロボットによる自動搬送 * 薬液昇温機能 * 自動消火システム、防爆ガラス等の安全仕様 * チャンバー内部の自動クリーニング機能 【当社の強み】 お客様のニーズに柔軟、迅速に対応。「商社」機能と「メーカ」機能を併せ持ち、多様なビジネスソリュー...
- 用途/実績例
- 光デバイス(LED等)、SAWデバイス、パワーデバイス、高周波デバイス、MEMS等
【MEMS向け】枚葉式自動レジスト剥離・リフトオフ装置/高田工業
- 概要
- 【特長】 ・昇温した有機薬液と高圧ジェットの併用による高い剥離性能 ・コンパクト設計による省スペース化 ・1チャンバー完結によるハイスループット化 ・薬液分離回収によるランニングコスト削減 【当社の強み】 「モノづくり(メーカー)機能」と「商社機能」を併せ持ち、お客様のニーズに...
- 用途/実績例
- 光デバイス(LED等)、SAWデバイス、パワーデバイス、高周波デバイス、MEMS等
【MEMS向け】枚葉式自動レジスト剥離・リフトオフ装置/高田工業
- 概要
- 【特長】 ・高い剥離性能をもつ独自のジェットリフトオフ機構 ・多品種少量・生産量の変動への対応に向けた、フレキシビリテイの 向上とランニングコストの削減 ・枚葉化による品質・歩留り向上( クロスコンタミの無い精密処理の実現と面内の均一性・制御性の向上) ・チャンバー内部の自動クリ...
- 用途/実績例
- 光デバイス(LED等)、SAWデバイス、パワーデバイス、高周波デバイス、MEMS等
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