高精度なMEMS製造を支える、剥離性能と省フットプリントを両立。
MEMS業界では、微細加工技術の高度化に伴い、レジスト剥離・リフトオフ工程における高い精度と品質が求められます。特に、ウェーハ表面の均一性や、コンタミネーションの抑制が重要であり、これらの課題を解決することが、製品の歩留まり向上に不可欠です。本装置は、昇温した有機薬液と高圧ジェットの組み合わせにより、高い剥離性能を実現。1チャンバー完結型で、ハイスループットと省フットプリント化に貢献します。 【活用シーン】 ・MEMSデバイス製造におけるレジスト剥離・リフトオフ工程 ・高精度なパターン形成が求められる工程 ・ウェーハ表面の均一性、コンタミネーション対策が必要な工程 【導入の効果】 ・高い剥離性能による歩留まり向上 ・省フットプリント化による製造ラインの効率化 ・薬液再利用によるランニングコスト削減
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基本情報
【特長】 ・高い剥離性能をもつ独自のジェットリフトオフ機構 ・多品種少量・生産量の変動への対応に向けた、フレキシビリテイの 向上とランニングコストの削減 ・枚葉化による品質・歩留り向上( クロスコンタミの無い精密処理の実現と面内の均一性・制御性の向上) ・対応ワークサイズは、2～8インチ（※角基板、12インチはお問合せください） ・チャンバー内部の自動クリーニング機能 【当社の強み】 お客様のニーズに柔軟、迅速に対応。「商社」機能と「メーカ」機能を併せ持ち、多様なニーズに対して最適なソリューションを提供します。
価格帯
5000万円 ~ 1億円
納期
用途／実績例
光デバイス（LED等）、SAWデバイス、パワーデバイス、高周波デバイス、MEMS等
カタログ（1）
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企業情報
お客様のニーズに柔軟、迅速に対応。 「商社」機能分野では、有力専門メーカーと連携の上、先端のメカトロニクス技術を駆使し、付加価値を付与することで高度情報化社会に適合した真に魅力的で、お客様のニーズにお応えできる商品・サービスを提供できるよう総力をあげて取り組んでおります。 「機械式駐車設備」事業では、お客様の様々なニーズにお応えするべく、高品質で、環境に優しく、安全に配慮した製品の製造・据付とともに、蓄積された豊富な経験と技術に基づき、全国に隈なく展開するサービスネットワークで24時間の保守サービスを提供しており、お客様から厚い信頼を頂いております。 「凍結乾燥設備」事業は、日本産業機械工業会より経済産業大臣賞を頂いた密閉チューブ方式凍結乾燥機など、次世代の「凍結乾燥機」の開発から小型試験研究用・大型生産用装置の納入・保守、さらには、医薬品・食品の開発支援までを業界のリーダーとして一貫して事業展開しており、高い評価を頂いております。 ◆各拠点 札幌、日立、名古屋、大阪、福岡、山口 ◆海外子会社 タイ 事業内容： 樹脂成型品、金属加工品、板金等及び梱包資材、電子部品の販売
