高精度なMEMSデバイス製造をサポートするレジスト剥離・リフトオフ装置
MEMS業界では、高精度なデバイス製造において、レジスト剥離やリフトオフ工程の品質が重要です。特に、微細加工技術を駆使するMEMSデバイスにおいては、レジストの残留や不均一な剥離が、製品の性能や信頼性に悪影響を及ぼす可能性があります。当社の枚葉式自動レジスト剥離・リフトオフ装置は、昇温した有機薬液と高圧ジェットの物理的アシストを組み合わせることで、高精度な剥離性能を実現します。 【活用シーン】 ・MEMSデバイス製造におけるレジスト剥離・リフトオフ工程 ・微細加工プロセスにおけるレジスト除去 ・研究開発用途でのレジスト剥離 【導入の効果】 ・高精度な剥離によるデバイス品質の向上 ・ハイスループット化による生産性向上 ・薬液再利用によるランニングコスト削減
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基本情報
【特長】 ・昇温した有機薬液と高圧ジェットの併用による高い剥離性能 ・コンパクト設計による省スペース化 ・1チャンバー完結によるハイスループット化 ・薬液分離回収によるランニングコスト削減 ・2～8インチワークサイズ対応（角基板、12インチはお問合せください） 【当社の強み】 「モノづくり（メーカー）機能」と「商社機能」を併せ持ち、お客様のニーズに柔軟、迅速に対応します。半導体製造・検査装置など、産業機械設備の分野で培ったノウハウを活かし、お客様の課題解決に貢献します。
価格帯
1000万円 ~ 5000万円
納期
用途／実績例
光デバイス（LED等）、SAWデバイス、パワーデバイス、高周波デバイス、MEMS等
カタログ（1）
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企業情報
お客様のニーズに柔軟、迅速に対応。 「商社」機能分野では、有力専門メーカーと連携の上、先端のメカトロニクス技術を駆使し、付加価値を付与することで高度情報化社会に適合した真に魅力的で、お客様のニーズにお応えできる商品・サービスを提供できるよう総力をあげて取り組んでおります。 「機械式駐車設備」事業では、お客様の様々なニーズにお応えするべく、高品質で、環境に優しく、安全に配慮した製品の製造・据付とともに、蓄積された豊富な経験と技術に基づき、全国に隈なく展開するサービスネットワークで24時間の保守サービスを提供しており、お客様から厚い信頼を頂いております。 「凍結乾燥設備」事業は、日本産業機械工業会より経済産業大臣賞を頂いた密閉チューブ方式凍結乾燥機など、次世代の「凍結乾燥機」の開発から小型試験研究用・大型生産用装置の納入・保守、さらには、医薬品・食品の開発支援までを業界のリーダーとして一貫して事業展開しており、高い評価を頂いております。 ◆各拠点 札幌、日立、名古屋、大阪、福岡、山口 ◆海外子会社 タイ 事業内容： 樹脂成型品、金属加工品、板金等及び梱包資材、電子部品の販売
