高真空蒸着装置 - 企業ランキング(全5社)
更新日： 集計期間:2025年03月26日〜2025年04月22日
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| 会社名 | 代表製品 | ||
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| 製品画像・製品名・価格帯 | 概要 | 用途/実績例 | |
卓上型高真空蒸着装置ＶＥ－２０１３
100万円 ~ 500万円 |
1. ヒーター電極 ：1対（2対タイプはオプション。） 2. 蒸着対象金属 ：金・アルミ・クロム・銀・カーボン その他 3. 試料ステージ ：直径72mm 4. 蒸着源－試料間隔 ： 0mm～140mm 5. チャンバーサイズ ：内径160mmｘ深さ235mm 6. 電極間電圧／電流 ： AC15Ｖ、 0～30A タッチパネル表示 7. 排気系：TMP67 ℓ／sec ＋RP 50ℓ／min 8. 真空度測定：タッチパネル表示 フルレンジ真空計 9. 到達真空度：5×10-4 Pa 以下 10. 安全対策 ：系統別サーキットプロテクタ、過剰負荷を自動でブロック 11. 装置サイズ：W428× D430 × H550 (mm) 38Kg 12. 電源 ：単層AC 100 V, 15A アース線付３芯プラグ使用 | ||
高真空蒸着装置
100万円 ~ 500万円 |
●電源：ＡＣ１００V（アース線付き単相１００V１５A） ●装置サイズ：幅５３４ｍｍ、奥行き６７５ｍｍ、高さ１１３４．５ｍｍ （装置重量８０ｋｇ）、２輪ストッパー付キャスター装備 ●真空排気系：TMP(67L/sec)＋ロータリポンプ(50L/min) ●到達真空度：5×10-4Pa 以下 ●真空度測定：フルレンジ真空計 ●真空槽：内径 200mm×高さ 248mm、ICF70 サービスポート１口標準搭載 ●試料ステージ：直径 58mm 水平試料台(標準装着) ●加熱用電極柱：2 対 4 本、スイッチ切り換えにより選択使用。柱は着脱自由。 ●絞り焼きボート支持電極 1 対標準付属。 タングステンバスケットによる金属蒸着が可能。 ●ヒータ電源：最大電流 80A(標準ボート使用時) ●蒸着可能面積：柱利用、上からの蒸着時＝直径 90mm 以内。下からの蒸着時＝直径 180mm 程度まで ●安全対策：停電時/全電磁バルブ閉、PR にエアリーク。 ●停電回復時/真空系統は停止状態を保持。初期の状態で復帰。 | ||
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株式会社真空デバイス 本社
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- 代表製品
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卓上型高真空蒸着装置ＶＥ－２０１３
- 概要
- 1. ヒーター電極 ：1対（2対タイプはオプション。） 2. 蒸着対象金属 ：金・アルミ・クロム・銀・カーボン その他 3. 試料ステージ ：直径72mm 4. 蒸着源－試料間隔 ： 0mm～140mm 5. チャンバーサイズ ：内径160mmｘ深さ235mm 6. 電極間電圧／電流 ： AC15Ｖ、 0～30A タッチパネル表示 7. 排気系：TMP67 ℓ／sec ＋RP 50ℓ／min 8. 真空度測定：タッチパネル表示 フルレンジ真空計 9. 到達真空度：5×10-4 Pa 以下 10. 安全対策 ：系統別サーキットプロテクタ、過剰負荷を自動でブロック 11. 装置サイズ：W428× D430 × H550 (mm) 38Kg 12. 電源 ：単層AC 100 V, 15A アース線付３芯プラグ使用
- 用途/実績例
高真空蒸着装置
- 概要
- ●電源：ＡＣ１００V（アース線付き単相１００V１５A） ●装置サイズ：幅５３４ｍｍ、奥行き６７５ｍｍ、高さ１１３４．５ｍｍ （装置重量８０ｋｇ）、２輪ストッパー付キャスター装備 ●真空排気系：TMP(67L/sec)＋ロータリポンプ(50L/min) ●到達真空度：5×10-4Pa 以下 ●真空度測定：フルレンジ真空計 ●真空槽：内径 200mm×高さ 248mm、ICF70 サービスポート１口標準搭載 ●試料ステージ：直径 58mm 水平試料台(標準装着) ●加熱用電極柱：2 対 4 本、スイッチ切り換えにより選択使用。柱は着脱自由。 ●絞り焼きボート支持電極 1 対標準付属。 タングステンバスケットによる金属蒸着が可能。 ●ヒータ電源：最大電流 80A(標準ボート使用時) ●蒸着可能面積：柱利用、上からの蒸着時＝直径 90mm 以内。下からの蒸着時＝直径 180mm 程度まで ●安全対策：停電時/全電磁バルブ閉、PR にエアリーク。 ●停電回復時/真空系統は停止状態を保持。初期の状態で復帰。
- 用途/実績例
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株式会社真空デバイス 本社
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