高周波電源 - 企業ランキング(全9社)
更新日: 集計期間:2025年06月18日〜2025年07月15日
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企業情報を表示
会社名 | 代表製品 | ||
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製品画像・製品名・価格帯 | 概要 | 用途/実績例 | |
![]() LF帯高周波電源
応相談 |
一例 NL15N100K-XX 出力周波数 100kHz±0.01% 定格出力 15kW 最大入力電源 40KVA 出力インピーダンス 50Ω 入力電源 入力AC200V 3Φ 出力安定度 設定出力の±1%以内 冷却方式 水冷空冷併用方式 (22l/min)30℃以下> | 半導体製造装置、等 | |
![]() MF帯高周波電源
応相談 |
一例 NL5N400K-XX 出力周波数 400KHz±0.05% 定格出力 5000W 最大入力電源 15KVA 出力インピーダンス 50Ω 入力電源 入力AC200V±10% 3Φ 出力安定度 設定出力の±2%以内 冷却方式 水冷空冷併用方式 (8l/min)30℃以下 RF 出力コネクタ HN型 | 半導体製造装置、等 | |
![]() 超小型高周波電源
応相談 |
出力 5W/10W/30W/50W/75W/100W(小型版) 周波数 13.56MHz~27.12MHz 周波数 13.56MHz~27.12MHzの任意の周波数 定格出力 5W~100W 入力 AC100V 1Φ もしくはDC入力 冷却方式 強制冷却 外形寸法 参考外形 W140×D180×H110mm | 半導体製造装置メーカー等 | |
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- 代表製品
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LF帯高周波電源
- 概要
- 一例 NL15N100K-XX 出力周波数 100kHz±0.01% 定格出力 15kW 最大入力電源 40KVA 出力インピーダンス 50Ω 入力電源 入力AC200V 3Φ 出力安定度 設定出力の±1%以内 冷却方式 水冷空冷併用方式 (22l/min)30℃以下>
- 用途/実績例
- 半導体製造装置、等
MF帯高周波電源
- 概要
- 一例 NL5N400K-XX 出力周波数 400KHz±0.05% 定格出力 5000W 最大入力電源 15KVA 出力インピーダンス 50Ω 入力電源 入力AC200V±10% 3Φ 出力安定度 設定出力の±2%以内 冷却方式 水冷空冷併用方式 (8l/min)30℃以下 RF 出力コネクタ HN型
- 用途/実績例
- 半導体製造装置、等
超小型高周波電源
- 概要
- 出力 5W/10W/30W/50W/75W/100W(小型版) 周波数 13.56MHz~27.12MHz 周波数 13.56MHz~27.12MHzの任意の周波数 定格出力 5W~100W 入力 AC100V 1Φ もしくはDC入力 冷却方式 強制冷却 外形寸法 参考外形 W140×D180×H110mm
- 用途/実績例
- 半導体製造装置メーカー等
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