例：300/380/400/800(KHZ) 1/2(MHZ)
一例 NL5N400K-ＸＸ 出力周波数400KHz±0.05％ 定格出力5000W 最大入力電源15KVA 出力インピーダンス50Ω 入力電源入力AC200V±10% 3Φ 出力安定度設定出力の±2%以内 冷却方式水冷空冷併用方式 （8l/min）30℃以下 RF 出力コネクタHN型
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基本情報
一例 NL5N400K-ＸＸ 出力周波数400KHz±0.05％ 定格出力5000W 最大入力電源15KVA 出力インピーダンス50Ω 入力電源入力AC200V±10% 3Φ 出力安定度設定出力の±2%以内 冷却方式水冷空冷併用方式 （8l/min）30℃以下 RF 出力コネクタHN型
価格帯
納期
用途／実績例
半導体製造装置、等
企業情報
RFテクノロジーズは、高周波電源がプラズマプロセスに使われ始めた頃より「実証研究」「素材開発」「表面改質」「半導体製造」「FPD製造」「太陽電池」など・・・高周波関連の開発・設計に携わって参りました。幸いにも、学術研究関係の方々や、世界最先端の技術水準を行く大手半導体製造設備メーカーの方々とも技術提携・技術交流の機会に恵まれ、装置メーカーが対処すべき領域と、電源メーカーが解決すべき領域が複双し合う事象にはお互いの技術のすり合わせがあって初めて解決できた事も数多く体験して参りました。