ゲッタポンプ - 企業ランキング(全7社)
更新日: 集計期間:2026年02月18日〜2026年03月17日
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企業情報を表示
| 会社名 | 代表製品 | ||
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| 製品画像・製品名・価格帯 | 概要 | 用途/実績例 | |
| 【特徴】 ○排気速度の設計が自由で到達圧力が向上 →システムの設計に合わせて昇華したチタンの吸着面積を選べば、 大きな排気速度が得られ到達圧力性能も向上する ○長寿命フィラメント →チタン合金フィラメントは、1本当たり定格連続運転 (30秒通電/ 60 秒休止)で... | 【用途】 ○超高真空の排気系 ○各種成膜装置(蒸着・スパッタリングなど)において、 高真空ポンプの到達圧力向上のための補助ポンプとして ○各種実験・研究用装置において、 高真空ポンプの到達圧力向上のための補助ポンプとして | ||
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- 代表製品
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チタンゲッタポンプ GGT-3, PGT シリーズ
- 概要
- 【特徴】 ○排気速度の設計が自由で到達圧力が向上 →システムの設計に合わせて昇華したチタンの吸着面積を選べば、 大きな排気速度が得られ到達圧力性能も向上する ○長寿命フィラメント →チタン合金フィラメントは、1本当たり定格連続運転 (30秒通電/ 60 秒休止)で...
- 用途/実績例
- 【用途】 ○超高真空の排気系 ○各種成膜装置(蒸着・スパッタリングなど)において、 高真空ポンプの到達圧力向上のための補助ポンプとして ○各種実験・研究用装置において、 高真空ポンプの到達圧力向上のための補助ポンプとして
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株式会社アルバック/ULVAC, Inc.