高真空領域(10-7～10-9Torrで繰り返し使用可能な非蒸発型ゲッター(NEG)ポンプ
CapaciTorr HVポンプは新しい多孔質性焼結型ゲッター合金ZAOを使用しています。ZAOは大量の大気、水、一酸化炭素、二酸化炭素を吸着する能力を持つため、CapaciTorr HVポンプは高真空の領域で繰り返し使用することができる初めてのゲッターポンプです。（10-7～10-9Torrレベル） 【特徴】 ○ 全ての活性ガスに対し高い排気速度 ○ 高真空でガス負荷が多い時は高温稼動する ○ 超高真空下での室温使用も可能 ○ 高い吸着能力と長寿命 ○ 高真空・超高真空の圧力域での一定した排気速度 ○ 小型デザインで軽量 ○ 磁場との干渉なし ○ オイルフリー、振動の発生なし ○ 電力消費を最小化（様式によって5-50ワット）
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基本情報
【標準仕様】 ○ 合金タイプ: ZAO（サエスの商標です） ○ 稼動温度: 150～200℃程度(ゲッターカートリッジ部のみ) 稼動温度とZAO特有の性質は超長期稼動期間後にポンプを再活性することを可能にしています。 ○ 使用可能なフランジサイズ：ICF70/114/203/ICF253 ○ 寸法:φ82x245/φ116x188/φ207x258/φ254x265mm（製品グレードによる） ○ 排気速度: 210から2100L/sの範囲で、水と大気の排気速度や排気容量も極めて高いポンプです。 ○ 専用電源有
価格帯
納期
用途／実績例
【用途例】 ● 粒子加速器（基本的な研究に加え、医療用、工業用用途にも） ● 高真空領域における薄膜成形装置 ● 真空プロセスシステム ● 分子線結晶構造装置（MBE） ● 大気や水に対する排気速度や排気能力だけでなく、排気時間の短縮化が要求される高真空システム ● SEM, TEM, FIB その他分析システム
企業情報
ゲッター技術の世界的パイオニア「サエス・ゲッターズ・グループ」は、1940年代の創業以来、高・超高真空環境や純金属の蒸着など様々な用途に対応するソリューション（ガス/水分吸着剤、水銀/アルカリ金属蒸着源など）を提供してまいりました。 また研究開発にも積極的に投資し、2004年以降はニチノール市場にも事業を展開しております。ニチノールの超弾性の特性は医療用機器に応用され、形状記憶の特性は産業および家庭用電化製品に応用されています。
