スプレー洗浄機のメーカーや取扱い企業、製品情報、参考価格、ランキングをまとめています。
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スプレー洗浄機 - 企業ランキング(全5社)

更新日: 集計期間:2025年08月20日〜2025年09月16日
※当サイトの各ページの閲覧回数を元に算出したランキングです。

会社名 代表製品
製品画像・製品名・価格帯 概要 用途/実績例
【特徴】 ○枚葉式のスプレー洗浄装置 ○被洗浄物を試料台に置き、スタートSWをON →試料台は回転を開始 →同時にノズルアームが洗浄物の半径をスイング →2流体ノズルより高圧純水をスプレー ○メガソニックによる仕上げ洗浄実行 ○スピン乾燥実行 【仕様】 ○外形寸法:W900×D645×H500 ○構造:鉄フレームに防錆塗装後 PVC張り ○蓋:透明 PVC 手動開閉 ○ウエハー受台:材質 PVC 真空吸着又は外周ピン受け ○流し:PVC ○ノズルアーム:1本 モーター駆動 スイング動作 ○メガソニック:950kHz 60W ○スピンモーター:ACサーボモーター 400W ○回転数 →メガソニック時:0~500rpm →スプレー洗浄時:0~500rpm →2流体ノズル洗浄時:0~500rpm →スピン乾燥時:MAX 3000rpm ○純水流量:1~4L/分 0,2Mpa ○N2流量:150~200L/分 0,2Mpa ○排気:VP-75A 5m³/分 ○電源:φ3 AC-200V 20A
【洗浄原理】 1.化学的洗浄作用 ・液体CO2粒子の化学的特性(溶解性)を利用した有機物除去 2.物理的洗浄作用 ・個体CO2粒子の衝突による物理的ブラスト効果を利用した異物除去 【用途】 ■CCDセンサー:マイクロレンズ上のパーティクル除去 ■MEMS:スパッタ残渣除去、濡れ性改善
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  1. 代表製品
    枚葉式スピンスプレー洗浄装置 SRC-15001枚葉式スピンスプレー洗浄装置 SRC-15001
    概要
    【特徴】 ○枚葉式のスプレー洗浄装置 ○被洗浄物を試料台に置き、スタートSWをON →試料台は回転を開始 →同時にノズルアームが洗浄物の半径をスイング →2流体ノズルより高圧純水をスプレー ○メガソニックによる仕上げ洗浄実行 ○スピン乾燥実行 【仕様】 ○外形寸法:W900×D645×H500 ○構造:鉄フレームに防錆塗装後 PVC張り ○蓋:透明 PVC 手動開閉 ○ウエハー受台:材質 PVC 真空吸着又は外周ピン受け ○流し:PVC ○ノズルアーム:1本 モーター駆動 スイング動作 ○メガソニック:950kHz 60W ○スピンモーター:ACサーボモーター 400W ○回転数 →メガソニック時:0~500rpm →スプレー洗浄時:0~500rpm →2流体ノズル洗浄時:0~500rpm →スピン乾燥時:MAX 3000rpm ○純水流量:1~4L/分 0,2Mpa ○N2流量:150~200L/分 0,2Mpa ○排気:VP-75A 5m³/分 ○電源:φ3 AC-200V 20A
    用途/実績例
    CO2スプレー洗浄装置CO2スプレー洗浄装置
    概要
    【洗浄原理】 1.化学的洗浄作用 ・液体CO2粒子の化学的特性(溶解性)を利用した有機物除去 2.物理的洗浄作用 ・個体CO2粒子の衝突による物理的ブラスト効果を利用した異物除去
    用途/実績例
    【用途】 ■CCDセンサー:マイクロレンズ上のパーティクル除去 ■MEMS:スパッタ残渣除去、濡れ性改善