スプレー洗浄機 - 企業ランキング(全5社)
更新日: 集計期間:2025年08月20日〜2025年09月16日
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企業情報を表示
会社名 | 代表製品 | ||
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製品画像・製品名・価格帯 | 概要 | 用途/実績例 | |
【特徴】 ○枚葉式のスプレー洗浄装置 ○被洗浄物を試料台に置き、スタートSWをON →試料台は回転を開始 →同時にノズルアームが洗浄物の半径をスイング →2流体ノズルより高圧純水をスプレー ○メガソニックによる仕上げ洗浄実行 ○スピン乾燥実行 【仕様】 ○外形寸法:W900×D645×H500 ○構造:鉄フレームに防錆塗装後 PVC張り ○蓋:透明 PVC 手動開閉 ○ウエハー受台:材質 PVC 真空吸着又は外周ピン受け ○流し:PVC ○ノズルアーム:1本 モーター駆動 スイング動作 ○メガソニック:950kHz 60W ○スピンモーター:ACサーボモーター 400W ○回転数 →メガソニック時:0~500rpm →スプレー洗浄時:0~500rpm →2流体ノズル洗浄時:0~500rpm →スピン乾燥時:MAX 3000rpm ○純水流量:1~4L/分 0,2Mpa ○N2流量:150~200L/分 0,2Mpa ○排気:VP-75A 5m³/分 ○電源:φ3 AC-200V 20A | |||
![]() CO2スプレー洗浄装置
応相談 |
【洗浄原理】 1.化学的洗浄作用 ・液体CO2粒子の化学的特性(溶解性)を利用した有機物除去 2.物理的洗浄作用 ・個体CO2粒子の衝突による物理的ブラスト効果を利用した異物除去 | 【用途】 ■CCDセンサー:マイクロレンズ上のパーティクル除去 ■MEMS:スパッタ残渣除去、濡れ性改善 | |
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- 代表製品
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枚葉式スピンスプレー洗浄装置 SRC-15001
- 概要
- 【特徴】 ○枚葉式のスプレー洗浄装置 ○被洗浄物を試料台に置き、スタートSWをON →試料台は回転を開始 →同時にノズルアームが洗浄物の半径をスイング →2流体ノズルより高圧純水をスプレー ○メガソニックによる仕上げ洗浄実行 ○スピン乾燥実行 【仕様】 ○外形寸法:W900×D645×H500 ○構造:鉄フレームに防錆塗装後 PVC張り ○蓋:透明 PVC 手動開閉 ○ウエハー受台:材質 PVC 真空吸着又は外周ピン受け ○流し:PVC ○ノズルアーム:1本 モーター駆動 スイング動作 ○メガソニック:950kHz 60W ○スピンモーター:ACサーボモーター 400W ○回転数 →メガソニック時:0~500rpm →スプレー洗浄時:0~500rpm →2流体ノズル洗浄時:0~500rpm →スピン乾燥時:MAX 3000rpm ○純水流量:1~4L/分 0,2Mpa ○N2流量:150~200L/分 0,2Mpa ○排気:VP-75A 5m³/分 ○電源:φ3 AC-200V 20A
- 用途/実績例
CO2スプレー洗浄装置
- 概要
- 【洗浄原理】 1.化学的洗浄作用 ・液体CO2粒子の化学的特性(溶解性)を利用した有機物除去 2.物理的洗浄作用 ・個体CO2粒子の衝突による物理的ブラスト効果を利用した異物除去
- 用途/実績例
- 【用途】 ■CCDセンサー:マイクロレンズ上のパーティクル除去 ■MEMS:スパッタ残渣除去、濡れ性改善
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