薬液供給装置 - 企業ランキング(全7社)
更新日: 集計期間:2025年03月26日〜2025年04月22日
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会社名 | 代表製品 | ||
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製品画像・製品名・価格帯 | 概要 | 用途/実績例 | |
【仕様】 〇サイズ ・ W1500×D600×H1300(mm) ○薬液 ・酸系 H2O2、 HF ・アルカリ系 NH4OH 〇フィルター ・カプセルフィルター 0.1ミクロン、ポリスルホン製 ○バルブ ・エアオペレーションバルブ PTFE製 〇排気 ・ダンパー、マノメータ内蔵 | 【用途】 ■CMP装置の原液供給 | ||
![]() 薬液供給装置(連続式) P112
応相談 |
●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。 | 本装置はプロセス装置に予め決められた濃度の薬液を供給するための装置である | |
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- 代表製品
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薬液供給装置(キャニスタユニット) P82
- 概要
- 【仕様】 〇サイズ ・ W1500×D600×H1300(mm) ○薬液 ・酸系 H2O2、 HF ・アルカリ系 NH4OH 〇フィルター ・カプセルフィルター 0.1ミクロン、ポリスルホン製 ○バルブ ・エアオペレーションバルブ PTFE製 〇排気 ・ダンパー、マノメータ内蔵
- 用途/実績例
- 【用途】 ■CMP装置の原液供給
薬液供給装置(連続式) P112
- 概要
- ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
- 用途/実績例
- 本装置はプロセス装置に予め決められた濃度の薬液を供給するための装置である
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