酸系2薬液、アルカリ系1薬液の原液コンテナを収納しＮ２による加圧圧送により原液を供給するための装置です。
ＣＭＰ装置の原液供給に使用されます。 【特長】 ■ＰＴＦＥ製バルブを使用 ■排気用ダンパーを内蔵 ※製品の詳細は、下記の「PDFダウンロード」ボタンよりご覧いただけます。 ※お問い合わせもお気軽にどうぞ。
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基本情報
【仕様】 〇サイズ ・ W1500×D600×H1300（mm） ○薬液 ・酸系 H2O2、 HF ・アルカリ系 NH4OH 〇フィルター ・カプセルフィルター 0.1ミクロン、ポリスルホン製 ○バルブ ・エアオペレーションバルブ PTFE製 〇排気 ・ダンパー、マノメータ内蔵
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用途／実績例
【用途】 ■ＣＭＰ装置の原液供給
ラインアップ（1）
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| P82 |
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この製品に関するニュース（1）
企業情報
「きっと、未来にいるものを。」をテーマとして、半導体製造装置周辺機器の 設計、製作を主体にお客様のニーズに対応した製品開発を行っています。 私たちの保有する技術がさまざまな分野で製品化され、お客様に役立てればと 思っております。研究開発や試作などお客様のアイデアをもとに製品化することに 社員全員が情熱を持って取り組む会社です。 心より皆様方のお問い合わせをお待ちしております。