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薬液供給装置 - 企業ランキング(全5社)

更新日: 集計期間:2025年03月26日〜2025年04月22日
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会社名 代表製品
製品画像・製品名・価格帯 概要 用途/実績例
【仕様】 〇サイズ ・ W1500×D600×H1300(mm) ○薬液  ・酸系 H2O2、 HF ・アルカリ系 NH4OH 〇フィルター  ・カプセルフィルター 0.1ミクロン、ポリスルホン製 ○バルブ  ・エアオペレーションバルブ PTFE製 〇排気  ・ダンパー、マノメータ内蔵 【用途】 ■CMP装置の原液供給
●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。 本装置はプロセス装置に予め決められた濃度の薬液を供給するための装置である
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  1. 代表製品
    薬液供給装置(キャニスタユニット) P82薬液供給装置(キャニスタユニット) P82
    概要
    【仕様】 〇サイズ ・ W1500×D600×H1300(mm) ○薬液  ・酸系 H2O2、 HF ・アルカリ系 NH4OH 〇フィルター  ・カプセルフィルター 0.1ミクロン、ポリスルホン製 ○バルブ  ・エアオペレーションバルブ PTFE製 〇排気  ・ダンパー、マノメータ内蔵
    用途/実績例
    【用途】 ■CMP装置の原液供給
    薬液供給装置(連続式) P112薬液供給装置(連続式) P112
    概要
    ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
    用途/実績例
    本装置はプロセス装置に予め決められた濃度の薬液を供給するための装置である