カタログ ＜ SEMICON J ご来場への御礼！＞

危険薬液の飛散リスクのある作業も耐薬エプロンが安全を確保！

『セバプロン』は、作業服・無塵服の上に着用する耐薬エプロン。 危険な薬液作業に必須！ 多くの半導体関係企業様・薬液取り扱い企業様で標準採用いただいています。 安全性と作業性を両立した「上下一体型デザイン」。 足部分はズボンタイプなので、低所作業時の足回りの安全も確保。 耐薬品性能に加え通気性能に優れた素材を使用。作業者のストレスを大幅に軽減します。 同じ耐薬性の生地で作られた「フード」「オーバーシューズ」との組み合わせも有効。 ソフト生地なので、狭いスペースでの作業負担も改善します。 【特長】 ■危険薬液で高い耐薬性（添付データ参照） ■通気性のあるPTFE素材なので、ストレス軽減 ■安全と作業性を考慮した「上下一体型デザイン」 ■研究所環境には、割烹着デザインの「SEBAPRO‐Hi Lab」がフィット ■「フード」「オーバーシューズ」との組み合わせも有効

• その他安全・衛生用品

工場の設備増設に伴う純水圧不足や、その変動を、純水昇圧ユニットが解決！ 安定した供給を実現します。

純水昇圧ユニットの導入により、 純水供給圧の不足や変動の問題を解消！安定したプロセス処理を行うことができます。 純水の安定供給は、デバイス生産において、品質と歩留まりに影響する重要な要素です。 この昇圧機能は、帯電防止ユニットや純水加温ユニットへも組み込み可能。設置スペースを縮小できます。 【特長】 ■常時監視によるフィードバック機能により、安定した圧力に制御。 ■ベアリングのない磁気浮上遠心型のレビトロニクスポンプの採用で、 高い耐久性能を実現。 ■脈動のない安定した供給を実現。 ■幅広い供給流量に対応する製品モデルをご用意。 ■供給先装置の通信仕様に対応。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他半導体製造装置
• 流量制御

新標準の純水加温ユニット！ 昇圧機能を搭載しているので、新旧工場に柔軟に対応します。

『JH-72S-SBX/JH-96S-SBX/JH-144S-SBX』は、純水を加温・昇圧して供給する純水加温ユニットです。2in1設計による省プリントを実現しています。 また、昇圧機能付きなので、サブファブへの設置が可能で、クリーンルームにスペースが生まれます。 独自の石英タンク構造と制御機構により、加熱起動が早い省エネ設計。 場所を取らないコンパクト設計なほか、純水圧が足りない環境にも 昇圧機能搭載なので、1次側の圧力変動に影響されず、安定した供給が可能です。 昇圧機能無しの純水加温ユニットも含め、多くのラインナップを用意しています。 【特長】 ■昇圧機能を搭載（選択オプション） ■限られたスペースに設置可能 ■投資コスト低減にも寄与 ■独自の石英タンク構造と制御機構により、加温起動が早い省エネ設計 ■加熱容器に石英ガラス、主要配管部にフッ素樹脂を使用したクリーン設計 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他理化学機器

コンパクトでありながら、高性能。 幅広いプロセスに対応。

ホットプレートの性能は、フォトリソグラフィープロセスの精度を決める重要なファクターです。 特に、膜厚・線幅・膜質の高い均一性が要求される先端プロセスや、 温度依存性の高い材料でのプロセス開発においては、 ホットプレートの性能が、プロセスパフォーマンスを見極める大きな要因となります。 タイマー制御のピンアップ機構により、正確な時間管理を実現。 ウェーハ間の均一な熱処理を可能にしました。 標準250℃モデルに加え、高温350℃モデルもご用意。 また、処理前後に均一な冷却が必要な場合は、卓上クールプレートも ご利用いただけます。 【特長】 ■高精度な面内温度均一性。 ■タイマー制御により、ウェーハ間差を低減。 ■3～8インチに対応。 ■プロキシミティーボールにより、均一なギャップを確保。 ■高温350℃モデルには、火傷防止カバーを装備。 ■空冷・水冷の卓上クールプレートもご利用可能。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他半導体製造装置
• 加熱装置

新技術”ヒートポンプダイナミクス”が空調の大幅な省エネを実現します。

新技術 “ヒートポンプダイナミクス” は、ヒートポンプ技術による外気の熱回収に加え、 独自技術によって装置内排熱の回収とマージを行い、 強力な熱パックを生成。 冷却器、加熱器、加湿用加熱器でフル活用します。 中・大型空調では必須の別置熱源機＜冷凍機・ボイラー・電気ヒーター＞が不要となり、 電力使用量・ランニングコストを削減。 2050年カーボンニュートラルへ向けて、空調システムによる環境への配慮が進められます。 【特長】 ■従来システムと比べ最大80％の電力使用量・ランニングコストを削減可能（当社試算）。 ■空調機モデルの組み合わせで、さまざまな対象エリアを柔軟にシステム構成。小規模エリア対応のモデルも用意。 ■ボイラーレスによる脱化石化燃料、そして直接のCO2排出の低減で、グリーン環境への配慮が促進。 ■高精度な温湿度管理を実現する精密空調。 ■中型モデルでは、クリーンブースとの連携でさまざまなシーンで活用。 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

• 空調
• その他空調機器

今回はIP試験（防じん試験・防水試験）のご紹介です。 是非この機会に各資料をご請求ください。 【１】IP試験（防じん試験・防水試験） 当社ではIP試験だけでなく、防じん試験・防水試験に関するその他の公的規格(以下参照) や、海外規格にも対応しています。IP試験はもちろんのこと、防じん試験・防水試験に 関するお困りごとがありましたらご遠慮なくご相談ください。 【 対応規格例 】 〇JIS C 60068-2-68「環境試験方法 -電気・電子- 砂じん(塵)試験」 〇JIS D 0207　　　 「自動車部品の防じん及び耐じん試験通則」 〇JIS E 4036　　　 「鉄道車両構成部品－ダスト試験通則」 〇NDS C 0110E　　「電子機器の運用条件に対する試験方法　防水試験」 〇JEM 1195　　　　「屋外用コントロールセンタ　防雨試験の検証」 詳細はこちらをご覧ください。 https://www.ipros.jp/product/detail/2001504600

こちらのページでは、これまでの現場での貴重な事例を保存版としてまとめた「成功事例集アーカイブ」をご紹介します。 加工改善のヒントや、次の工程への展開アイデアとなれば幸いです！ 1．【ステンレス/C1面取り】　工具寿命8倍に！ 2．【仕上がり比較】～超硬 VS スチール・ホルダー別～ 3．【モミツケ】ハイスドリル比・工具寿命30倍！ 4．【SS400/Φ50穴あけ】⼯具集約★加⼯時間50% 削減 5．【SS400/Φ52・A6061/Φ45穴あけ】切粉対策・加工時間1/5に！ 6．【SUS316L★Φ25×85L穴あけ】★加工動画アリ！加工時間8分に！ 7．【SUS420★溝加工】工具寿命3.6倍！ 8．【SS400 側面加工】工具寿命 約2.3倍！ 9．【S25C 側面加工】工具寿命 1.6倍！工具費240万円削減 10．【S50C・4D刃長/トロコイド加工】★加工動画アリ！ 11．【15-5PH削り出し】 工具寿命 約5.5倍 UP！工具交換回数8割削減！ 詳細はこちらよりご覧ください。 https://toolde.co.jp/?p=5633

まさに第4のスポットドリルと言っても過言ではない、高速・高精度・無駄のない高能率加工を推進する最新のインサート式スポットドリル。ACEスポットドリルは、超硬2枚刃のインサート式です。 従来インサート式のスポットドリルと言えば1枚刃タイプでしたがこちらは2枚刃であるため、1枚刃に比べ加工スピードUPが可能。※ハイスセンターに比べて加工速度が各段に向上することは言うまでもありません。 面取り加工、モミツケ加工、カウンターシンク加工、これ１本でOK！ 工具の廃棄量削減にも◎ ******* 詳細はこちら https://toolde.co.jp/?p=4172 *******

オーダーメイド試験はお客様の目的に適した方法や装置を提案し、その結果を提供する実験／試験サービスです。 製品開発・改良、品質保証、不具合対策などで規格や既存装置がない実験や試験を必要とする際、その目的を詳しく伺いお客様に最適な解決方法を提案します。 また、試験計画や試験方法の立案、試験装置の設計でもお役に立つことができます。 試験装置／検査装置だけをご希望の場合オーダーメイドの試験装置の納入とサポート対応も可能です。 研究開発用の実験や製品性能測定モックアップ試験装置など3000件以上実績（2021年8月時点）がありお客様の「どうしよう」の解決をお手伝いします。 【オーダーメイドの例】 〇腐食性ガス対象のガスバリア性確認試験 〇環境浄化用触媒の性能試験 〇バルブの耐久、漏れ試験 【オーダーメイド試験機の納入例】 〇新型空調の評価試験装置 〇吸着剤の評価試験装置 試験について詳しくまとめた資料をご希望の方は下記URLより資料をご請求ください！ https://www.ipros.jp/product/detail/2001504638

インケムまで1週間！ 会場は東京ビッグサイト東展示棟。松本機械のブース番号は【4-N13】です。 特別講演会A会場の前で皆さまをお待ちしています！