新標準の純水加温ユニット！ 昇圧機能を搭載しているので、新旧工場に柔軟に対応します。
『JH-72S-SBX/JH-96S-SBX/JH-144S-SBX』は、純水を加温・昇圧して供給する純水加温ユニットです。2in1設計による省プリントを実現しています。 また、昇圧機能付きなので、サブファブへの設置が可能で、クリーンルームにスペースが生まれます。 独自の石英タンク構造と制御機構により、加熱起動が早い省エネ設計。 場所を取らないコンパクト設計なほか、純水圧が足りない環境にも 昇圧機能搭載なので、1次側の圧力変動に影響されず、安定した供給が可能です。 昇圧機能無しの純水加温ユニットも含め、多くのラインナップを用意しています。 【特長】 ■昇圧機能を搭載（選択オプション） ■限られたスペースに設置可能 ■投資コスト低減にも寄与 ■独自の石英タンク構造と制御機構により、加温起動が早い省エネ設計 ■加熱容器に石英ガラス、主要配管部にフッ素樹脂を使用したクリーン設計 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【ラインアップ】 ■JH-72S-SBX ■JH-96S-SBX ■JH-144S-SBX ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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【用途】 ■製造工程で温水純水が必要なプロセスへの対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
株式会社SCREEN SPE サービスは、 株式会社SCREENホールディングスのグループ会社として2003年に設立。 半導体製造装置のセットアップ・メンテナンス・改造サービスから、 オリジナル周辺機器の開発・販売に至る幅広い技術サービスをご提供する プロフェッショナル技術集団です。私たちのポリシーは「顧客第一」。 先進の技術力とノウハウを通じて、お客さまの生産ラインの安定稼働に貢献します。
