薄膜技術の基礎知識『ガラスコーティング』

耐久性に優れた製品を多数ラインアップ。修理メンテナンスなども対応可能。バイオ・EPC・薄膜業界へのアプローチを紹介した資料進呈

当社では、マスフローコントローラ、プレッシャーコントローラ、 トランスデューサなどの、流量・圧力制御に関する機器を販売しています。 長期間にわたり安定して動作可能な高信頼製品を多数ご用意。 技術研修や校正、修理メンテナンスなどのサービスも提供しています。 現在、バイオ・EPC・薄膜業界それぞれに適した機器や 特長・導入メリットなどを紹介した資料をまとめて進呈中です。 【資料ラインアップ】 ■流量・圧力計測機器＜バイオ医薬品・ライフサイエンス業界＞ ■面積式流量計＜EPC向けフローソリューション＞ ■気体・液体用マスフローコントローラ＜真空・圧力計測と制御＞ ※各資料は「PDFダウンロード」からご覧いただけます。 　お問い合わせもお気軽にどうぞ。

• 流量計
• 圧力計
• コントローラ

デバイス1台でさまざまなガスと流量に対応し、柔軟な対応を実現しました！

『GF40シリーズ』は、当社独自のMultiFloテクノロジーを搭載したサーマル式のマスフロー コントローラ/メータです。 さまざまなガスを使用する場合、ガスの種類を頻繁に変更する場合、制御精度は維持したまま、 フルスケールレンジを変更する必要のあるシステムやプロセスに好適です。 MultiFloテクノロジーは、比類のない柔軟性を提供します。 1台のデバイスで、数千パターンの異なるガス・流量範囲の組み合わせに対応しています。 【特長】 ■専用のソフトウェアで設定変更が可能な、マルチガス/マルチレンジ機能 ■エラストマシールのオプションが豊富ため、さまざまなガスに対応 ■長期安定性に優れたハステロイ製センサを採用 ■実ガス試験に基づく100種類以上のガスデータを搭載 ■負荷の高いアプリケーションでも、1秒未満の応答時間とセットポイント 　±1%の制御精度を実現 ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 流量計
• 流量制御

すべてを可能にするMFC

超高速応答時間と高レベルな清浄度を備えた『GF125シリーズ』は、第二世代の多変量計測、PTI（圧力変動耐性）メタルシールマスフローコントローラです。圧力と温度の変動によるプロセスガス流量の変動を最小限に抑制します。標準のMultiFlo テクノロジーにより、ガスラインから切り離したり、精度を犠牲にすることなく、数千種類ものガスタイプとレンジの組み合わせをサポートします。 その結果、 収率と生産性を最大限に拡張する業界最高のPTI性能とともに、各ポイントの圧力レギュレータ、圧力トランスデューサ、関連するハードウェア設置の必要性を減らすことにより、ガスパネルのサイズとコストを縮小します。 【特長】 ■長期的なゼロ点安定性：0.5％フルスケール/年以下 ■セトリングタイム：300 ms - 700 ms以下 ■フルスケール流量レート 最大300 slpm ■メタルシール流路：4µ インチ Raの表面仕上げ ■SEMI F20準拠接ガス･接液部材質 ■耐腐食ハステロイ(R) 製T-Riseセンサ など ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問合せください。

• 流量計
• 流量制御

応答速度および繰り返し性に優れたガス流量コントロール用アプリケーション

『GF100シリーズ』は、優れた応答速度および繰り返し性で、高清浄度 および超高清浄度のプロセスガス供給を実現したメタルシールマスフロー コントローラ/メータです。 高い繰り返し性と安定性能を確保し、業界標準を超える信頼性をご提供。 業界最高レベルのガス清浄度を実現するとともに、プロセスの柔軟性と 効率性を向上し、収率と生産性を最大限に拡大することができます。 【特長】 ■長期的なゼロ点安定性：0.5％フルスケール/年以下 ■セトリングタイム：700 ms - 1秒以下 ■フルスケール流量レート 最大300 slpm ■メタルシール流路：4µ または 10µ インチ Raの表面仕上げオプション ■耐腐食ハステロイ(R) 製T-Riseセンサにより、温度が上昇しても、 　測定の再現性を向上　など ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問合せください。

• 流量計
• 流量制御

気密性・密封性を検査するための漏れ試験機器を開発・製造・販売している株式会社フクダが、 気密検査の方法や理論を分かり易く解説した技術資料である、 『テクニカルマニュアル（Technical Manual）』 をＰＤＦデータとしてご提供させていただいております。 ぜひこの機会にダウンロードしてご覧ください！

●水素リークディテクター（水素リークテスター）とは？ エアリークテストでは測定できなかった小さな領域まで漏れ測定が可能で、漏れ箇所の特定もできます。 水素5％+窒素95％の工業用混合ガス（非可燃性ガス：ISO10156：2017）をトレーサガスとして使用するディテクターです。 ●ヘリウムリークテストシステム（ヘリウムリークテスター, ヘリウムリークディテクター）とは？ 高精度または高圧の漏れ検査が適したリークテストシステムです。 ヘリウムリークテストシステムは、検知ガス（トレーサガス）にヘリウムガスを使用し、漏れ出たヘリウムを検知します。 フクダのリークテスターの中で、最も細かい漏れが検知可能なリークテスト方式です。

包装工程のピンホール検査を完全自動化し、一定の品質基準をもとに包装不良を排除します。判定結果や稼働状況は、モニタ画面により管理することができます。 ・ピンホール検査工程の品質基準を定量的に管理 ・製品の有効期間の品質を確保 ・製造工程の評価基準を確立、定量的な品質保証を実現 ・スリムな省スペースで既存の生産ラインに接続可能 ・品種切替のための段取り替えは、チャンバの交換により短時間で対応可能 ・完全国内生産だから、メンテナンスやトラブル対応も迅速に対応します ・対象ワーク例：ピロー包装、包装米飯(パックごはん)、等 ※本製品の医薬品での対応はご相談下さい

株式会社フクダは漏れ検出を追求して60年、漏れ検査（リークテスト）の未来型を追求します。 【 各種漏れ試験に対応：エアリークテスト / ガスリークテスト（水素ガス ・ ヘリウムガス） 】 気密性・密封性を検査するための漏れ試験機器を開発・製造・販売しています 検査対象ごとに適切なテスター・装置をご提案いたします 【 対象業界と検査対象例 】 ・自動車業界：エンジン、FC部品、バルブ・配管、各種部品 ・電子部品業界：スマートフォン、キーレススイッチ、各種小型センサ ・医薬品 / 食品 / 化粧品業界：ボトル容器、シリンジ、バイアル、点眼剤容器、ピロー包装、PTP包装 業界別に最適なリークテスターをご提案いたします 【 ISO認証 】JIS Q 9001:2015（ISO 9001:2015）

株式会社フクダは漏れ検出を追求して60年、漏れ検査（リークテスト）の未来型を追求します。 【 各種漏れ試験に対応：エアリークテスト / ガスリークテスト（水素ガス ・ ヘリウムガス） 】 気密性・密封性を検査するための漏れ試験機器を開発・製造・販売しています 検査対象ごとに適切なテスター・装置をご提案いたします 【 対象業界と検査対象例 】 ・自動車業界：エンジン、FC部品、バルブ・配管、各種部品 ・電子部品業界：スマートフォン、キーレススイッチ、各種小型センサ ・医薬品 / 食品 / 化粧品業界：ボトル容器、シリンジ、バイアル、点眼剤容器、ピロー包装、PTP包装 業界別に最適なリークテスターをご提案いたします 【 ISO認証 】JIS Q 9001:2015（ISO 9001:2015）