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2025/07/10

Druck TERPS:半導体産業を支える革新的な真空圧力測定技術

日本ベーカーヒューズ株式会社 日本ベーカーヒューズ株式会社 (旧)GEセンシング&インスペクション・テクノロジーズ株式会社
TERPSの概要と特徴 •高精度・高安定性: 精度は±0.01%FS、長期安定性は年間で0.01%FS未満を達成し、温度感度も多点補償により大幅に低減可能です。 •広範な測定レンジ: 真空用途においては、中真空から大気圧まで、一般的に使用されるレンジをカバーできます。10Paから大気圧までの連続測定レンジを提供します。 •優れた直線性: 低圧域でも非常に優れた直線性を示し、1Pa〜1000Paの範囲で正/負のオフセット量が21〜23Paに安定しています。 •低ヒステリシス: 単結晶シリコン共振ビームは0〜100Paの範囲でヒステリシスがほぼ無視でき、極低圧領域でも高い安定性と信頼性を発揮します。 •堅牢な動作温度範囲: 動作温度は最大-55℃〜125℃に対応します。 •高い媒体適合性: 測定媒体に応じて、シリコン素子直接露出タイプ、316Lステンレス鋼隔離ダイアフラム、またはHastelloy C276仕様を選択可能です。 •容易なシステム統合: 周波数出力またはデジタル出力(RS232/RS485, CANBus, USB)に対応しており、システム統合が容易です。
DruckのTERPS技術
DruckのTERPS技術
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Druck TERPS 圧力センサー

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Druck 高精度シリコン振動式圧力センサーTERPS 8000

優れた安定性と高精度を実現!センサー素子が圧力媒体からアイソレートされる構造の圧力センサーです。

『TERPS 8000シリーズ』は、TERPS(トレンチエッチング・共振圧力センサー)技術を採用。精度、安定性、信頼性、強度を兼ね備え、Druckの圧力センサの中でも最高のパフォーマンスを発揮します。 【二つの圧力センサーで差圧を測るアプリケーションにお勧め】 振動素子は真空状態にあり、圧力媒体の密度の変化から完全に影響を 受けないので優れた安定性を実現できます。 【特長】 ■TERPS技術を採用した初代の圧力センサー ■金属ダイアフラムと封入されたシリコーン・オイルによって、  センサー素子が圧力媒体からアイソレートされる構造 ■振動素子は真空状態にあり、圧力媒体の密度の変化から完全に  影響を受けない ■優れた安定性を実現 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 尚、イプロスにご登録されている個人情報は、弊社正規代理店にも共有させていただき、代理店よりご連絡させていただく場合がございますのでご了承ください。 

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Druck 高確度圧力 モジュール『PM620 TERPS』

ツールを使わず手締め可能!1.2 bar~100 barまで測定できる高確度圧力モジュール

当製品は、「PM620」に当社独自のTERPS共振シリコン圧力センサ技術を 組み込んだ高確度圧力モジュールです。 従来の圧力測定技術と比較して、最大4倍の安定性と確度を実現。 取り付けが容易なスクリューフィットにより、ツール、シールテープ、 ケーブル、プラグを用いることなく、圧力部の接続と電気部の接続の 両方を行うことが可能です。 【特長】 ■0.0125% FSの総合確度 ■-10°C~50°Cの温度補償確度 ■シンプルなスクリューフィット - ツールを使わず手締め可能 ■1.2 bar~100 barまで測定可能 ■DPI620G、DPI612シリーズなどの圧力校正器との互換性 ■交換時の設定や校正が不要 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 尚、イプロスにご登録されている個人情報は、弊社正規代理店にも共有させていただき、代理店よりご連絡させていただく場合がございますのでご了承ください。 

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リークテストの技術資料『テクニカルマニュアル(Technical Manual)』に書いてあることとは?

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気密性・密封性を検査するための漏れ試験機器を開発・製造・販売している株式会社フクダが、 気密検査の方法や理論を分かり易く解説した技術資料である、 『テクニカルマニュアル(Technical Manual)』 をPDFデータとしてご提供させていただいております。 ぜひこの機会にダウンロードしてご覧ください!

2026年10月23日

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成功事例&Q&A【Nine9 TDチャンファーミル】裏バリ取り加工事例★ホルダー比較検証 ~超硬とスチールで仕上がりはどれくらい違うのか?~

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特に軸ものなど曲面への穴あけには「バリの発生と処理」が課題になりがち… そこで今回はNine9社TDチャンファーミルで裏バリ取りをしているユーザー様でのホルダー材質別(超硬とスチール)送り量別での加工面比較をご紹介いたします! 詳しくはこちら https://toolde.co.jp/?p=5191

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株式会社フクダがご提案するリークテスト・漏れ試験・漏れ検査・漏れ検知・漏れ検出・容器完全性試験・包装完全性試験 etc. について。

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株式会社フクダは漏れ検出を追求して60年、漏れ検査(リークテスト)の未来型を追求します。 【 各種漏れ試験に対応:エアリークテスト / ガスリークテスト(水素ガス ・ ヘリウムガス) 】 気密性・密封性を検査するための漏れ試験機器を開発・製造・販売しています 検査対象ごとに適切なテスター・装置をご提案いたします 【 対象業界と検査対象例 】 ・自動車業界:エンジン、FC部品、バルブ・配管、各種部品 ・電子部品業界:スマートフォン、キーレススイッチ、各種小型センサ ・医薬品 / 食品 / 化粧品業界:ボトル容器、シリンジ、バイアル、点眼剤容器、ピロー包装、PTP包装 業界別に最適なリークテスターをご提案いたします 【 ISO認証 】JIS Q 9001:2015(ISO 9001:2015)

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【漏れ・リーク】についてのお悩み事をお聞かせください。ご提案できることがあるかもしれません。リークテスト・漏れ試験・漏れ検査・漏れ検知・漏れ検出・容器完全性試験・包装完全性試験・・・

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【フクダの技術コラム】漏れ・リーク etc.

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【フクダの技術コラム】のリンク集です。 リークテスト・漏れ検査・漏れ試験などにまつわるいろいろなこと…以下のリンクから、ぜひご覧ください。

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