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Druck 高精度シリコン振動式圧力センサーTERPS 8000

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最終更新日:2025年03月25日

日本ベーカーヒューズ株式会社 (旧)GEセンシング&インスペクション・テクノロジーズ株式会社
日本ベーカーヒューズ株式会社 (旧)GEセンシング&インスペクション・テクノロジーズ株式会社
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優れた安定性と高精度を実現!センサー素子が圧力媒体からアイソレートされる構造の圧力センサーです。

『TERPS 8000シリーズ』は、TERPS(トレンチエッチング・共振圧力センサー)技術を採用。精度、安定性、信頼性、強度を兼ね備え、Druckの圧力センサの中でも最高のパフォーマンスを発揮します。 【二つの圧力センサーで差圧を測るアプリケーションにお勧め】 振動素子は真空状態にあり、圧力媒体の密度の変化から完全に影響を 受けないので優れた安定性を実現できます。 【特長】 ■TERPS技術を採用した初代の圧力センサー ■金属ダイアフラムと封入されたシリコーン・オイルによって、  センサー素子が圧力媒体からアイソレートされる構造 ■振動素子は真空状態にあり、圧力媒体の密度の変化から完全に  影響を受けない ■優れた安定性を実現 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 尚、イプロスにご登録されている個人情報は、弊社正規代理店にも共有させていただき、代理店よりご連絡させていただく場合がございますのでご了承ください。 

    センサセンサ
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Druck 高精度シリコン振動式圧力センサーTERPS 8000

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基本情報

【その他の特長】 ■高精密度:±0.01% FS(非直線性、ヒステリシス、繰り返し性、温度特性) ■優れた長期安定性:±0.01% FS/Year ■圧力レンジ:200kPa(abs) to 7MPa(abs)及び大気圧 ■広温度範囲:-40℃ to +85℃ ■TTL周波数及びダイオード電圧アナログ出力又はRS-232, RS-485デジタル出力 ■各種圧力継手、電気接続コネクタ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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この製品に関するニュース(1)

DruckのTERPS技術

Druck TERPS:半導体産業を支える革新的な真空圧力測定技術

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TERPSの概要と特徴 •高精度・高安定性: 精度は±0.01%FS、長期安定性は年間で0.01%FS未満を達成し、温度感度も多点補償により大幅に低減可能です。 •広範な測定レンジ: 真空用途においては、中真空から大気圧まで、一般的に使用されるレンジをカバーできます。10Paから大気圧までの連続測定レンジを提供します。 •優れた直線性: 低圧域でも非常に優れた直線性を示し、1Pa〜1000Paの範囲で正/負のオフセット量が21〜23Paに安定しています。 •低ヒステリシス: 単結晶シリコン共振ビームは0〜100Paの範囲でヒステリシスがほぼ無視でき、極低圧領域でも高い安定性と信頼性を発揮します。 •堅牢な動作温度範囲: 動作温度は最大-55℃〜125℃に対応します。 •高い媒体適合性: 測定媒体に応じて、シリコン素子直接露出タイプ、316Lステンレス鋼隔離ダイアフラム、またはHastelloy C276仕様を選択可能です。 •容易なシステム統合: 周波数出力またはデジタル出力(RS232/RS485, CANBus, USB)に対応しており、システム統合が容易です。

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※お問い合わせの際は、ブランド名、製品名を明記ください。 当社ベーカーヒューズは世界120カ国以上で事業を展開する世界中のエネルギー産業にソリューションを提供するエネルギーテクノロジーカンパニーです。人々と地球にとってより安全で、よりクリーンで、より効率的なエネルギーの創出に取り組む企業を目指しています。 日本法人である日本ベーカーヒューズ(旧:GEセンシング&インスペクション・テクノロジーズ )は、パナメトリクスブランドの水分計、分析計、流量計、ドラックブランドの圧力計、圧力校正器、ロイターストークスブランドの放射線モニタリング用途のための高性能なガンマ線・中性子検出器などを提供しています。

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