半導体製造向けFOUPガスパージ制御に最適!センシリオンの高精度マスフローコントローラー 「SFC6000D」

センシリオンの「SFC6000D」は、FOUP(Front Opening Unified Pod)用途に最適なマスフローコントローラーです。
半導体製造では、極めて高いアスペクト比を持つ3次元構造が求められ、精密なガスパージ制御が不可欠です。SFC6000Dは、正確で安定したガス流量制御を実現し、歩留まり向上とコスト削減に貢献します。
■主な特長
・高精度・高速応答:保護用不活性ガスの流量を正確に制御
・優れた再現性と長期安定性
・マイコン不要:校正済みデジタルセンサーがバルブを直接制御
・通信インターフェース:RS485、Modbus RTU、I2C、アナログ電圧対応
・最大10 barの耐圧設計:5/20/50 slmモデルに対応
・湿度耐性:非凝縮湿度環境でも安定動作
■対象
・半導体製造装置メーカー
・ウェーハ搬送装置メーカー
・クリーンルーム関連機器メーカー
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