研究開発の精度を高める！研究現場向け「位置決め」製品特集のご紹介

±0.06µmの高再現性により、光ファイバーやフォトニクス部品の6自由度調整を安定化

H-811.I2は、全6軸において高精度な位置決めが可能な小型ヘキサポッドです。 XY±17mm、Z±6.5mmの移動範囲に加え、±21°の回転制御が可能。 パラレルキネマティック設計により、干渉や誤差が最小限に抑えられ、安定した動作を実現します。 特に真空や制限スペース下でも確実な動作が可能で、再現性や剛性を求める精密分野での信頼性に優れます。 最大5kgまでの荷重に対応。

• エンコーダー
• アクチュエーター
• その他産業用ロボット

250kg対応と±0.2µm再現性により、大型光学系や試験設備の高精度6軸補正を実現

H-850は最大250kgの耐荷重を誇る高剛性ヘキサポッドで、±50mm（XY）/±25mm（Z）、および±30°の広範囲な動作が可能です。 再現性はZ軸±0.2µm、回転軸±7.5µradと高精度。ブラシレスDCギアモータによる滑らかな動作と、アブソリュートエンコーダの即時位置取得により、高速かつ安定した制御が可能です。 構造はパラレルキネマティック方式で、ロボティクス、重量物アライメント、試験設備などに最適です。

• エンコーダー
• アクチュエーター
• その他産業用ロボット

多光子顕微鏡・半導体検査向け。深部観察時も安定した焦点精度を維持

V-308はボイスコイル直動とクロスローラーガイドを組み合わせたZ軸フォーカスステージです。 最小インクリメント10 nm、調整可能な7 mmストロークにより、光学系の焦点位置をナノレベルで最適化できます。 大口径レンズや長作動距離レンズを使用する多光子・深部組織イメージングで高い信頼性を提供します。 クロスローラーガイドの高剛性構造と10 nm分解能エンコーダが、7 mm全域で滑らかなナノポジショニングを保証。 詳細は PDF をダウンロード、またはお問い合わせください。

• ソレノイド・アクチュエータ
• アクチュエーター
• その他機械要素

66mm開口とXYZ最大300µm動作により、透過光観察とウェハ位置決めを安定化

P-561〜563シリーズは、パラレルキネマティクス構造と静電容量式センサを採用したXYZ軸動作ピエゾナノポジショナ。 動作量は、XYZ 各100／200／300 µm（モデル別）で再現性は±2nm、リニアリティ：0.03％をもちます。 開口は、66×66 mmで透過光・レーザ光路を確保します。 ダイレクト駆動タイプは、XY軸45µｍ、Ｚ軸15µｍ動作で、1000Hzの無負荷時共振周波数を持ち、高分解能で高速応答が実現します。 また、PICMAピエゾセラミックスは、オールセラミックスで絶縁されており対湿度性をもち、高信頼性、長寿命を確保します。半導体検査、超解像顕微鏡、フォトニクス調整などに最適です。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。

• 圧電デバイス
• アクチュエーター
• 直交ロボット

高さ11mm・最大33mmストロークで、光学装置や小型計測機器への組込みに対応

「B-421 BIX」は、筐体幅25mmで厚さ11mmと小型で、最大33mmの移動量を実現。 ピエゾ慣性ドライブにより、比較的高い保持力、高い分解能と位置再現性を発揮します。多軸に組合せも容易に可能で、装置設計におけるスペース制限を解決しつつ、ナノメートルスケールの動作を可能にします。

• その他機械要素

20mrad超の大偏向角とサブミリ秒応答により、高速レーザースキャンを安定化

S-330ピエゾチップ／チルトプラットフォームは高速でコンパクトな チップ／チルトユニットであり、2つの直交軸を中心とした トッププラットフォームの角度の動きを正確に実現します。 【特徴】 ○分解能～20nrad、優れた位置安定性 ○光ビームの偏向～20mrad（＞1°） ○パラレル制御設計によるダイナミクス、安定性、およびリニアリティの向上 ○同一平面回転軸と固定ピボットポイントが分極回転を回避 ○サブミリセカンドの応答 ○直径最大50mmのミラー用 ○リニアリティ向上のためのクローズドループバージョン ○優れた温度安定性 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

• レーザ部品

最大200mmストロークと0.1µm再現性により、光学アセンブリや検査工程の高精度搬送に対応

動作量は、25〜200 mmまで6種をラインアップ ・2相ステッピングモーター駆動で、精密ボールねじ、循環ボールベアリング内蔵 ・最大速度：80mm/s ・最小動作量：0.3µm～、再現性：2µm～ ・耐荷重：150N ・折り畳み駆動タイプは、設置面積を削減 ・垂直動作用に保持ブレーキ付モデル ・リニアエンコーダ（オプション） ・XY軸、XYZ軸などにも拡張可能 レーザー加工、試験・検査、電子機器製造、光ケーブル製造、光学アセンブリ、シリコンフォトニクスなどに好適。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。

• エンコーダー
• アクチュエーター
• 直交ロボット

60mm角サイズでXYZ構成に対応し、小型検査装置や光学系の微細位置調整を実現

【DCモータ、ステッピングモータを使用したリニアステージ】 ■トラベルレンジ：5～25mm ■最小移動量：0.2µm ■耐荷重：30N ■サイズ：60×62×20mm～ ■XY軸、XYZ軸にセットアップ可能で、真空にも対応(10^-6hPa） 【コンパクトなリニアステージ、多用途】 ■ベルト駆動が折り重なったコンパクトサイズのリニアステージです ■開口部は10 mm Øです ■XYセットアップをアダプタープレートなしで直接マウントできます 【位置計測】 ■DCギヤモーター搭載の別タイプ：モーター軸にロータリーエンコーダーを搭載 ■非接触ホール効果基準点スイッチとリミットスイッチ 【駆動】 ■2相ステッパーモーターまたはクローズドループDCギヤモーター ■バックラッシュ補正のリードネジやボールネジ ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。

• エンコーダー
• アクチュエーター
• 直交ロボット

2.5nmピエゾ制御と9軸同期動作により、PICや光ファイバーの高速位置補正を実現

ヘキサポッド6軸モーターステージと、XYZ軸ピエゾステージを組み合わせた高速・高精度フォトニクスアライメントシステム。 SiPhウェーハ、フォトニックデバイス、PIC、および光ファイバーに最適化されたスキャン/アライメントルーチン、強力な配列アライメントアルゴリズムで、高速・高精度、かつ同時アライメントを可能にします。 ヘキサポッドは、6軸をDCサーボモータ駆動で動作、サブミクロン位置決めが可能。また様々なデバイスに合わせて、任意に回転中心の設定が可能です。 XYZ軸ピエゾステージは、ナノレベル位置決めが可能で、高い共振周波数で高速応答・スキャンを可能にします。 WindowsおよびLinux上のC#、Python、LabVIEW、MATLABなどの一般的な言語のサポートを含む、迅速なプロセス開発のための広範で深いソフトウェアサポート。

• 光学実験部品
• アクチュエーター
• その他産業用ロボット

最大407mmの広範囲位置決めと装置連携により、検査・加工工程のタクトと再現性を両立

■Performance 1：サーボモータとボールねじステージ構成 ■Performance 2：高精度向け、サーボモータとボールねじ駆動ステージ構成 ■Performance 3：高速・高精度向け、リニアモーターステージ構成 Z軸は、保持ブレーキ付きタイプで対応します。 ACSベースG-901コントローラはモーション＋I/O＋安全機能を統合し、装置PLCとのEtherCAT(R)接続を即完了。 レーザー加工、超短パルスレーザー加工、テストや精密検査、電子機器製造に最適。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。

• アクチュエーター
• リニアモータ
• 直交ロボット

木材CLTを活用した木製軽量敷板「ハイパーCLT敷板」は、マスターズ甲子園（岡山）に協賛しています。 高校野球を経験した人たちが、世代を超えて再び目標に向かうマスターズ甲子園。その「挑戦を続ける姿勢」に共感し、岡山から活動を応援しています。 ハイパーCLT敷板も、これまで敷鉄板が中心だった土木現場に、新しい選択肢をつくるために生まれた製品です。軽量で扱いやすく、木材ならではの環境面の価値を持つことも特徴です。 さらに、**国土交通省NETIS登録技術「TH-250021-A」**として、公共工事をはじめ幅広い現場での普及を目指しています。 木材、NETIS、土木、CLT、木製軽量敷板。現場への挑戦も、スポーツへの挑戦も、岡山から応援していきます。 マスターズ甲子園（岡山） https://masters-okayama.com/

ラッキング感覚で施工でき、紫外線や機械的なダメージなどから露出配管をしっかり保護！ 配管用化粧カバー（ビル設備用） スリムダクトPD 樹脂製なので軽くて丈夫！ ラッキング工法よりも変形に強い！ 市販の配管バンドがそのまま使えて誰でも簡単に施工！ 豊富なパーツラインナップで、さまざまな角度や分岐、天吊り配管にも対応します。

特徴： ●Intel Core Ultra（シリーズ2）プロセッサー LGA 1851ソケット（CPU別売） ●DDR5 6400MT/s デュアルチャネル対応、CU/U-DIMM×2（最大128GB）（メモリ別売） ●M.2 M-Key×1、E-Key×1 ●USB 3.2×4、USB 2.0×8 ●Intel Ethernet Controller I226-V（2.5GbE）×2 ●SATA 6Gb/s×2（RAID 0 / 1 / 5対応） ●PCI Express Gen5 x16 ×1　PCI Express Gen4 x4 ×1　PCI Express Gen4 x1 ×1 ※メモリ、ストレージ、OSレスのモデルとなります

特徴： ●Intel Core Ultra 200Sシリーズ プロセッサー　LGA 1851ソケット（最大125W）（CPU別売） ●DDR5 6400MT/s デュアルチャネル対応、CU-DIMM/U-DIMM×4（最大256GB）（別売） ●M.2 M-Key×2、E-Key×1、B-Key×1 ●USB 3.2×8、USB 2.0×6 ●2.5GbE LAN×3 ●SATA 6Gb/s×2（RAID 0 / 1 / 5対応） ●PCIe Gen5 x16 ×1、PCIe Gen4 x4 ×2、PCIe Gen4 x1 ×1 ●ATX電源対応 ※メモリ、ストレージ、OSレスのモデルとなります

特徴： ●Intel Core Ultra 200Sシリーズ プロセッサー対応　Intel H810チップセット　LGA1851ソケット（最大125W対応）（CPU別売） ●DDR5 CSO-DIMM×2（最大128GB）（メモリ別売） ●2.5GbE LAN×2 ●HDMI×2、DisplayPort×1、LVDS/eDP×1（最大3画面同時出力対応） ●SATA 6Gb/s×4、M.2 M-Key×1、M.2 E-Key×1、M.2 B-Key×1、PCI Express Gen5 x16×1 ●USB 3.2 Gen2×2、USB 2.0×8、RS-232/422/485×1、RS-232×5 ●ATX電源対応 ※メモリ、ストレージ、OSレスのモデルとなります