2.5nmピエゾ制御と9軸同期動作により、PICや光ファイバーの高速位置補正を実現
ヘキサポッド6軸モーターステージと、XYZ軸ピエゾステージを組み合わせた高速・高精度フォトニクスアライメントシステム。 SiPhウェーハ、フォトニックデバイス、PIC、および光ファイバーに最適化されたスキャン/アライメントルーチン、強力な配列アライメントアルゴリズムで、高速・高精度、かつ同時アライメントを可能にします。 ヘキサポッドは、6軸をDCサーボモータ駆動で動作、サブミクロン位置決めが可能。また様々なデバイスに合わせて、任意に回転中心の設定が可能です。 XYZ軸ピエゾステージは、ナノレベル位置決めが可能で、高い共振周波数で高速応答・スキャンを可能にします。 WindowsおよびLinux上のC#、Python、LabVIEW、MATLABなどの一般的な言語のサポートを含む、迅速なプロセス開発のための広範で深いソフトウェアサポート。
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基本情報
システム駆動軸：9軸 ＜ヘキサポッドラフポジショニング＞ トラベルレンジ： X, Y, Z＝±17, ±16, ±6.5mm、θX, θY, θZ＝±10, ±10, ±21度 最小移動量：XY=0.1µm、Z=0.05µm ロータリーエンコーダ ＜ピエゾファインポジショニング＞ トラベルレンジ： X, Y, Z＝100µm 最小移動量：2.5nm 内蔵センサー ＜システム専用コントローラ＞ C-887型ヘキサポッドアナログ入力付属コントローラ＆ソフトウェア E-712型デジタルピエゾコントローラアナログ入力付属 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
価格帯
納期
用途／実績例
・PIC製造 ・ファイバーアレイ・コリメータ・光学部品・レンズの配置調整 ・シリコンフォトニクスウエハーの試験 ・フォトニクスおよび光ファイバーの試験・組立・パッケージング
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企業情報
Physik Instrumente（PI）は、ドイツ・カールスルーエに本社を置く精密位置決め技術のグローバルリーディングカンパニーです。産業オートメーション、フォトニクス、半導体、顕微鏡・ライフサイエンスなどの分野に向けて、高精度ポジショニングシステムおよびピエゾテクノロジーを提供しています。 50年以上にわたり、世界中の企業や研究機関に採用されており、欧州・北米・アジアに9つの生産拠点と16の営業・サービス拠点を展開。500件以上の特許を保有し、開発・製造・品質検査までを自社で一貫して行うことで、高い技術力と品質を支えています。 日本法人は30年以上にわたり国内で事業を展開しており、技術相談から導入サポートまで、日本のお客様のニーズに合わせた高精度モーションソリューションを提供しています。
