Corial 300 シリーズを利用した故障解析
Corial 300シリーズは、300mmウエハの処理に対応したプラズマエッチング装置です。
一方で、弊社独自設計のシャトルラインを使用することで、切り出された個片チップについても同一装置でエッチング処理を行うことが可能です。そのため、300mmウエハ上での故障解析と、個片チップの故障解析を一台の装置で完結させることができます。

このニュースへのお問い合わせ
Webからお問い合わせ

このニュースへのお問い合わせ
Webからお問い合わせ