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プラズマ・サーモ・ジャパンの会社概要
製品開発から量産まで一貫サポート！データ時代の半導体産業を支えるプラズマ技術！
プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社は、プラズマ技術を応用した半導体製造装置の販売およびサポートを行っています。 エッチング装置、成膜装置、プラズマダイシング（切断）装置をはじめ、ICP、RIE、DSE（Deep Silicon Etching）、IBE（イオンビームエッチング）、IBD（イオンビーム成膜）、PECVD、HDPCVD、HDRF、F.A.S.T.（ALDライク成膜）など、多彩なプロセスソリューションをご提供しています。 米国フロリダ州に本社を置くPlasma-Therm LLCは、1974年の設立以来、50年以上にわたりプラズマ技術を応用した半導体製造装置の開発・製造・販売を行ってきました。 半導体、MEMS、化合物半導体、先端パッケージング、研究開発用途から量産用途まで、お客様のプロセス要件に応じた最適なソリューションをご提案します。 装置選定、プロセス開発、デモ評価、保守・メンテナンスに関するご相談も承っております。ぜひお気軽にお問い合わせください。 ▼グループ会社 Corial 公式サイト https://corial.plasmatherm.com/en
事業内容
■ 半導体・MEMS・化合物半導体向けエッチング装置、成膜装置、プラズマダイシング装置の販売 ■ ICP、RIE、DSE、IBE、IBD、PECVD、HDPCVD、HDRF、F.A.S.T.-ALD-like CVDなどの半導体製造装置およびプロセスソリューションの提供 ■ 装置据付、プロセス開発支援、保守・メンテナンス、消耗品供給などのカスタマーサービスの提供
製品・サービス (15)
カタログ（14）
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ニュース（1）
詳細情報
| 企業名 | プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社 |
|---|---|
| 連絡先 | 〒220-0012 神奈川県横浜市西区みなとみらい4丁目4番2号 横浜ブルーアベニュー12階地図で見る TEL：045-274-8089 FAX：045-274-8006 |
| 業種 | 電子部品・半導体 |
