Top Silicon Wafer Solution in APAC 2025

気密性・密封性を検査するための漏れ試験機器を開発・製造・販売している株式会社フクダが、 気密検査の方法や理論を分かり易く解説した技術資料である、 『テクニカルマニュアル（Technical Manual）』 をＰＤＦデータとしてご提供させていただいております。 ぜひこの機会にダウンロードしてご覧ください！

●水素リークディテクター（水素リークテスター）とは？ エアリークテストでは測定できなかった小さな領域まで漏れ測定が可能で、漏れ箇所の特定もできます。 水素5％+窒素95％の工業用混合ガス（非可燃性ガス：ISO10156：2017）をトレーサガスとして使用するディテクターです。 ●ヘリウムリークテストシステム（ヘリウムリークテスター, ヘリウムリークディテクター）とは？ 高精度または高圧の漏れ検査が適したリークテストシステムです。 ヘリウムリークテストシステムは、検知ガス（トレーサガス）にヘリウムガスを使用し、漏れ出たヘリウムを検知します。 フクダのリークテスターの中で、最も細かい漏れが検知可能なリークテスト方式です。

●流量計とは？ 質量流量計やラミナフローメータにより流量を測定し、流量判定基準に従って良否判定を行います。通気流量測定や性能検査等に最適です。 「FMZ-1063 series」 質量流量計を内蔵したフローテスタです。 高精度　± 3.5 % of R.D. ± 1digit（常用流量領域）。 時間短縮機能（スキャン測定）を実現。FMZ-1063はコンパクトサイズで、様々な機能を持った、オールインワンのフローテスタです。 「FU series」 ラミナと差圧センサを一体化し、小型化・軽量化した流量測定用フローユニットです。表示用インジケータ（型式：MI-170）との接続で、流量直読表示や圧力及び流量判定を行えます。 「FLF-110 series」 2 NmL/min～500 NL/minまでの幅広い流量測定が可能なラミナーフローメータです。

●エアリークテスターとは？ 「エアリークテスター」は、密封されたワークの内側(あるいは外側)を空気で加圧し、圧力変化によって漏れの有無を判定する装置です。 漏れのないマスタと、漏れのあるワークを加圧すると、ワーク側の圧力が低下し両者の間に圧力差が生じます。 この圧力差を測定することで漏れの有無を判定します。 一般的に、差圧式エアリークテストが広く用いられていますが、フクダでは差圧式リークテスタに加え、漏れ量（リークレート）に応じた直圧式リークテストや流量計を用いた製品もラインアップしています。 エアリークテスタは空気（エアー）を測定媒体とするためランニングコストがかからず、環境にも優しい仕様となっています。

●電空レギュレータ（電空レギュレーター）とは？ 制御再現性が±0.1％の能力を備えた自社開発の電空レギュレータです。 小流量から、大流量まで幅広いラインアップをそろえています。 ●レギュレータ（レギュレーター）とは？ リークテストで使用するテスト圧力の調整にご利用ください。 安定したテスト圧力を供給することで、より高精度な測定が可能になります。