【書籍】半導体プラズマプロセス技術の制御と計測・モニタリング（No.2357）【試読できます】

【試読できます】-可視化・異常検知・高精度プロセス最適化-

書籍名：半導体プラズマプロセス技術の制御と計測・モニタリング －－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－ ◎成膜・エッチングプロセスの最適化を実現するには？ ◎プラズマを可視化し、電子・イオンの制御につなげる技術を詳解！ ◎放電・反応性プラズマの高精度プロセス技術を徹底解説！ －－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－ ■　本書ではこんな情報を掲載しています ・放電プラズマ、反応性プラズマを制御するための電子密度・電子温度・電力制御技術、ガス供給のポイント ・真空環境を設計するためのガス特性・排気系の設計技術・計測技術・トラブル対策を体系化 ・発光分光法、四重極質量分析法、探針法によるプラズマ状態の計測技術 ・活性粒子計測、異常放電検知、イオンエネルギー分布、プラズマ中イオン種の計測、ラジカル測定とモニタリング技術 ・プラズマCVD・ALDプロセスの低ダメージ、低温・高速成膜技術、膜密度・膜厚の制御、密着性向上 ・スパッタ成膜技術の膜厚コントロール技術、薄膜の組成、結晶性、電気特性、機械特性制御

• 技術書・参考書

CEJN（セイン）は、EcoVadisのサステナビリティ評価で銀メダルを獲得しました。この評価は、これまでの取り組みの成果を認めるものであり、今後の継続的な改善に向けた明確な基準となります。 EcoVadisは世界で最も認知されているサステナビリティ評価プラットフォームの一つであり、世界中で15万社以上の企業が評価を受けています。この評価では、環境、労働・人権、倫理、持続可能な調達などの分野が対象となります。総合スコアに基づき、企業はパーセンタイルランキングに分類され、それに応じたメダルが授与されます。

株式会社フクダは漏れ検出を追求して60年、漏れ検査（リークテスト）の未来型を追求します。 【 各種漏れ試験に対応：エアリークテスト / ガスリークテスト（水素ガス ・ ヘリウムガス） 】 気密性・密封性を検査するための漏れ試験機器を開発・製造・販売しています 検査対象ごとに適切なテスター・装置をご提案いたします 【 対象業界と検査対象例 】 ・自動車業界：エンジン、FC部品、バルブ・配管、各種部品 ・電子部品業界：スマートフォン、キーレススイッチ、各種小型センサ ・医薬品 / 食品 / 化粧品業界：ボトル容器、シリンジ、バイアル、点眼剤容器、ピロー包装、PTP包装 業界別に最適なリークテスターをご提案いたします 【 ISO認証 】JIS Q 9001:2015（ISO 9001:2015）

【フクダの技術コラム】のリンク集です。 リークテスト・漏れ検査・漏れ試験などにまつわるいろいろなこと…以下のリンクから、ぜひご覧ください。

安全で働きやすい土木現場をつくるには、重機や施工方法だけでなく、毎日使う「足元」を整えることも重要です。ぬかるみや凹凸のある通路、車両が走りにくい搬入路は、作業効率や安全性にも影響します。 ハイパーCLT敷板は、木材CLTを活用した土木CLT資材です。仮設道路、搬入路、材料ヤード、仮設駐車場、作業員通路、休憩所周辺など、現場のさまざまな場所に使用できます。必要な場所だけに敷設し、敷鉄板と使い分けることも可能です。 5×10版は約230kg、5×20版は約460kgと軽量で、小型重機でも設置・撤去しやすいことが特徴。さらに、木材ならではの照り返しや騒音の抑制、CO2固定、景観への配慮といった付加価値もあります。 国土交通省NETIS登録技術で、NETIS登録番号は「TH-250021-A」。安全対策、環境配慮、創意工夫まで、足元から現場の質を高める新しい木材敷板です。

今回はIP試験（防じん試験・防水試験）のご紹介です。 是非この機会に各資料をご請求ください。 【１】IP試験（防じん試験・防水試験） 当社ではIP試験だけでなく、防じん試験・防水試験に関するその他の公的規格(以下参照) や、海外規格にも対応しています。IP試験はもちろんのこと、防じん試験・防水試験に 関するお困りごとがありましたらご遠慮なくご相談ください。 【 対応規格例 】 〇JIS C 60068-2-68「環境試験方法 -電気・電子- 砂じん(塵)試験」 〇JIS D 0207　　　 「自動車部品の防じん及び耐じん試験通則」 〇JIS E 4036　　　 「鉄道車両構成部品－ダスト試験通則」 〇NDS C 0110E　　「電子機器の運用条件に対する試験方法　防水試験」 〇JEM 1195　　　　「屋外用コントロールセンタ　防雨試験の検証」 詳細はこちらをご覧ください。 https://www.ipros.jp/product/detail/2001504600