半導体関連装置向け解析シミュレーションソフト 無料紹介セミナー・随時開催中♪

工数・コスト削減に！薄膜生成、スパッタリング、プラズマエッチングなどの様々なシミュレーションに対応可能。導入後のサポートも安心。

当社では、半導体関連装置向けに特化した解析ソフトを取扱っています。 希薄流体解析ソフト、プラズマ解析ソフトをラインアップし、 有機ELやマグネトロンスパッタのシミュレーションで活躍中です。 「新商品開発をしたい」「製品改善時に実機(装置)を作って検証したい」 「事前検証,装置との比較検証をしたい」などでお困りの方に。 また、自社開発製品のため、導入後も手厚くサポートいたします。 【ラインナップ／特長】 《希薄流体解析ソフト『DSMC-Neutrals』》 ■非構造メッシュに対応しているため、複雑な形状の計算に対応 ■装置内全体のガス流れのシミュレーションが可能 《プラズマ解析ソフト『Particle-PLUS』》 ■低圧のプラズマシミュレーションが可能 ■プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造などに ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

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低圧条件のガス流れの解析ができる 希薄気体(希薄流体)にも対応した解析ソフト

【特長】 ■非構造メッシュを採用しているので、複雑な実際の装置の形状そのままを計算することが可能 ■高い並列効率から、大規模形状でも短時間で計算結果が得られる ■粒子法を採用しているため流体モデルと異なり，品質の悪い計算格子が有っても，必ず収束解を得られる ■充実した技術サポートにより、シミュレーションが始めての方や実験で忙しい方々も確実に結果を出すことが可能 ◆さまざまな事例に対応◆ ・真空チャンバー内の希薄なガス流れシミュレーション ・半導体製造における薄膜生成のシミュレーション ・化学蒸着 (CVD)、有機EL (OLED)、分子線エピタキシー (MBE ) ・CVD のような化学反応を含む成膜シミュレーション などの半導体製造における薄膜生成のシミュレーション ◆さまざまな計算結果を出力◆ ・化学反応の計算 ・アレニウス形式の反応データから化学反応を計算 ・解離・再結合・分子（原子）交換反応計算 ・GUI 上で，複数の反応式を設定も可能 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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『Particle-PLUS』 はプラズマ反応炉や化学蒸着(CVD)などのシミュレーションに適したプラズマ解析ソフトウエアです。

Particle-PLUSは、粒子法を用いたプラズマ・希薄流体解析ソフトウェアです。プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造などに有効なソフトです。二周波CCPや外部回路モデルなどの高度な物理モデルに対する解析も可能です。充実したサポートによりシミュレーションが始めての方や実験で忙しい方々も確実に結果を出すことができます。プラズマを解析するのに粒子モデルを用い、電子・イオンを代表する粒子の運動を追跡するPIC / MC (Particle In Cell / Mote Carlo)法を採用しております。また、対象プラズマ密度に応じて比較的高密度では陰解法を、低密度では陽解法と使い分けることにより、複雑なモデルでも効率良く解くことができます。特に流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします。標準機能でのCCP、ICP、マグネトロンスパッタ計算はもちろんのこと、お客様の装置にあわせたカスタマイズも行っております。

• その他解析

従来では困難だった自動車用スパークプラグのアークプラズマ解析も可能なシミュレーションソフトウェアです。

VizSparkは、プラズマシミュレーションの専門家、テキサス大学オースティン校のRaja教授によって開発された、アークプラズマシミュレーションソフトウェアです。アークプラズマはもちろん固体との熱のやり取り、磁場、流れとの連成を考慮に入れているため、幅広い解析対象にお使い頂ける製品となっています。 メイン画像では、以下の条件での自動車用点火プラグの電極間放電の『温度分布』を表示しています。 ・ガス種：空気 ・気体の流入圧力 5 atm ・気体の流入速度 8 m/s ・気体の初期温度 700 K ・電流 19.1 mA その他にも、流速、圧力、気体分子の数密度などの空間分布出力が可能です。 ◎トライアル（試用） 有償で1ヵ月のトライアル（試用）を実施しております。 詳しくは下記の「Webからお問い合わせ」より、お気軽にお問い合わせ下さい。

• エンジン系部品
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「シャワーヘッド型CVD」解析にも対応した 希薄流体解析ソフトウェア『DSMC-Neutrals』

シャワーヘッド型CVD装置内のガス流れのシミュレーション解析 はじめ様々なシミュレーションに対応 【特長】 ■非構造メッシュを採用しているので、複雑な実際の装置の形状そのままを計算することが可能 ■高い並列効率から、大規模形状でも短時間で計算結果が得られる ■粒子法を採用しているため流体モデルと異なり，品質の悪い計算格子が有っても，必ず収束解を得られる ■充実した技術サポートにより、シミュレーションが始めての方や実験で忙しい方々も確実に結果を出すことが可能 ◆さまざまな事例に対応◆ ・真空チャンバー内の希薄なガス流れシミュレーション ・半導体製造における薄膜生成のシミュレーション ・化学蒸着 (CVD)、有機EL (OLED)、分子線エピタキシー (MBE ) などの半導体製造における薄膜生成のシミュレーション ◆さまざまな計算結果を出力◆ ・化学反応の計算 ・アレニウス形式の反応データから化学反応を計算 ・解離・再結合・分子（原子）交換反応計算 ・GUI 上で，複数の反応式を設定も可能 ※受託解析もしておりますので、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他解析

従来では困難だった自動車用点火プラグのアークプラズマ解析も可能なシミュレーションソフトウェアです。

VizSparkは、プラズマシミュレーションの専門家、テキサス大学オースティン校のRaja教授が設立した、米国Esgee Technologies社によって開発された、アークプラズマシミュレーションソフトウェアです。 点火プラグ及び遮断器での解析に最も多くの実績があり、学会においても多くの事例が発表されております。 国内でも完成車メーカー、内燃機関関連メーカーを中心に多くの実績があり、以下のような装置の解析に対応しています。 ・遮断機 ・大気圧放電 ・点火プラグ(スパークプラグ) ・プラズマトーチ（プラズマジェット） ・溶接 ・溶射 ・高輝度ランプ

• シミュレーター
• 受託解析
• 解析サービス

プラズマシミュレーションの専門家、テキサス大学オースティン校のRaja教授によって開発されたソフトウェアです。

VizGlowはプラズマシミュレーションの専門家、テキサス大学オースティン校のRaja教授が設立した、米国Esgee Technologies社によって開発された、汎用プラズマシミュレーションソフトウェアです。

• シミュレーター
• 受託解析
• 解析サービス

ガス流れや薄膜生成のシミュレーションに。大規模形状でも短時間計算

当社では、半導体関連装置向けに特化した解析ソフトを取扱っています。 希薄流体解析ソフト、プラズマ解析ソフトをラインアップし、 有機ELやマグネトロンスパッタのシミュレーションに活躍。 お客様のニーズに合わせた対応も可能です。 【ラインナップ】 《希薄流体解析ソフト『DSMC-Neutrals』》 ■非構造メッシュに対応しているため、複雑な形状の計算に対応 ■装置内全体のガス流れのシミュレーションが可能 《プラズマ解析ソフト『Particle-PLUS』》 ■低圧のプラズマシミュレーションが可能 ■プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造などに この2つのシステムで、半導体製造における薄膜生成、スパッタリング、 プラズマエッチングなどの様々なシミュレーションに対応可能です。 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

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[講　師] 東京大学 次世代知能科学研究センター センター長／ 大学院情報理工学系研究科 教授 ムーンショット型研究開発事業 目標3プログラムディレクター 國吉 康夫 氏 [重点講義内容] 少子高齢化や労働力不足が進む中、我が国には人と協働しながら多様な現場を支える新たな知能システムが求められている。ムーンショット目標3では、「2050年までに、AIとロボットの共進化により、自ら学習・行動し人と共生するロボットを実現」を目指し、2026年度から新たなプロジェクトが始動した。 本講演では、プロジェクトの全体像を紹介するとともに、社会課題と人型AIロボットへの期待、未知の環境に適応しながら学び成長するヒューマノイドの実現構想について、「認知発達」「身体性」といった人型AIロボットの重要技術領域にも触れながら、述べる。 [講演項目] １．社会課題と人型AIロボットへの期待 ２．目指すべき研究開発の方向性 ３．鍵となる研究開発項目 ４．ムーンショット目標3概要 ５．主な研究内容紹介 ６．質疑応答／名刺交換

[講　師] EY新日本有限責任監査法人 CCaSS事業部 シニアマネージャー 井出 陽一郎 氏 [重点講義内容] EUでは、サーキュラーエコノミー（CE）への移行を加速するため、欧州電池規則（EUBR）、包装・包装廃棄物規則（PPWR）、デジタル製品パスポート（DPP）をはじめとする制度整備が急速に進んでいます。これらは単なる環境規制ではなく、市場ルールを再設計し、新たな需要や競争環境を創出する政策パッケージとして位置付けられています。 本講演では、EUサーキュラーエコノミー政策が描く市場構造を読み解くとともに、EUBR、PPWR、DPPの最新動向と実務対応のポイントを解説します。さらに、日本企業に求められる対応や戦略策定の視点についても紹介します。 [講演項目] １．EUサーキュラーエコノミー政策が描く市場構造 ２．欧州電池規則（EUBR）の実務対応 ３．包装・包装廃棄物規則（PPWR）の実務対応 ４．デジタル製品パスポート（DPP）最新動向と実務対応のヒント ５．サーキュラートランジションに向けた戦略策定の視点 ６．質疑応答／名刺交換

[講　師] 斉藤社会保険労務士事務所 特定社会保険労務士 斉藤 貴久 氏 [重点講義内容] 労働基準監督署の立入調査は、ある日突然やってきます。法人に拒否する権限はありません。それが、臨検です。臨検で法違反が明確になれば、是正勧告を受けることになります。そうなる前に、またはそうなった後に、どのように対応するべきか事前に知っておくべきでしょう。また、働き方改革が進行し労働基準監督署の臨検に影響を及ぼしています。一時、コロナ禍で減少した臨検の件数も増加傾向です。 本セミナーでは、改正労働基準法等の施行を踏まえ臨検の概要から是正勧告等に対する報告書の作成まで、想定される情報を共有しながら、わかりやすく解説いたします。なお、会場受講では、質疑など相互に確認しながら有意義な情報交換が可能です。 [講演項目] １．労働基準監督署と労働基準監督官 ２．臨検の概要 ３．臨検に対する準備（監督官がくる前に） ４．臨検当日の対応から報告まで ５．臨検に際して検討すべき課題 ６．最近の動向 ７．質疑応答／名刺交換

当社は「最新！国際規格にもとづく防爆安全設計と防爆エンジニアリング ～IEC 60079シリーズに準拠した安全設計から 設備エンジニアリング、保守・点検まで～」のオンラインセミナーを開催します。 本講座では防爆電気機器の開発および防爆設備のコンサルテーションを手がける実務者が、 IEC60079シリーズにもとづく防爆電気機器の安全設計から防爆設備のエンジニアリングまで、 実務に役立てられるようやさしく解説します。具体的には、防爆の国際規格と各国の動向、 爆発の防止と防爆エンジニアリングの実際、防爆電気機器の設備への適用などを詳しく紹介します。 防爆電気設備、防爆電気機器に関わる設計者やエンジニアなど幅広い方の参加をお奨めします。 皆様のご参加を心よりお待ちしております。

当社は「3DCAD/CAEを活用した構想設計の進め方と設計手戻り防止手法 ～力学的に成立する構想設計と3D活用による設計品質向上の実務～」の オンラインセミナーを開催します。 本講座では、実務課題を踏まえ、構想設計において最も重要となる 「力学的に成立する設計とは何か」を起点に、3DCAD/CAEを用いて設計初期段階で 何を確認すべきかを具体的に整理します。単なるモデリングではなく、 荷重・剛性・構造成立性といった観点から設計を“成立させる”ための考え方を解説します。 皆様のご参加を心よりお待ちしております。