半導体関連装置向け解析シミュレーションソフト 無料紹介セミナー・随時開催中♪

工数・コスト削減に！薄膜生成、スパッタリング、プラズマエッチングなどの様々なシミュレーションに対応可能。導入後のサポートも安心。

当社では、半導体関連装置向けに特化した解析ソフトを取扱っています。 希薄流体解析ソフト、プラズマ解析ソフトをラインアップし、 有機ELやマグネトロンスパッタのシミュレーションで活躍中です。 「新商品開発をしたい」「製品改善時に実機(装置)を作って検証したい」 「事前検証,装置との比較検証をしたい」などでお困りの方に。 また、自社開発製品のため、導入後も手厚くサポートいたします。 【ラインナップ／特長】 《希薄流体解析ソフト『DSMC-Neutrals』》 ■非構造メッシュに対応しているため、複雑な形状の計算に対応 ■装置内全体のガス流れのシミュレーションが可能 《プラズマ解析ソフト『Particle-PLUS』》 ■低圧のプラズマシミュレーションが可能 ■プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造などに ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

• 受託解析
• その他解析

低圧条件のガス流れの解析ができる 希薄気体(希薄流体)にも対応した解析ソフト

【特長】 ■非構造メッシュを採用しているので、複雑な実際の装置の形状そのままを計算することが可能 ■高い並列効率から、大規模形状でも短時間で計算結果が得られる ■粒子法を採用しているため流体モデルと異なり，品質の悪い計算格子が有っても，必ず収束解を得られる ■充実した技術サポートにより、シミュレーションが始めての方や実験で忙しい方々も確実に結果を出すことが可能 ◆さまざまな事例に対応◆ ・真空チャンバー内の希薄なガス流れシミュレーション ・半導体製造における薄膜生成のシミュレーション ・化学蒸着 (CVD)、有機EL (OLED)、分子線エピタキシー (MBE ) ・CVD のような化学反応を含む成膜シミュレーション などの半導体製造における薄膜生成のシミュレーション ◆さまざまな計算結果を出力◆ ・化学反応の計算 ・アレニウス形式の反応データから化学反応を計算 ・解離・再結合・分子（原子）交換反応計算 ・GUI 上で，複数の反応式を設定も可能 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 受託解析
• その他解析

『Particle-PLUS』 はプラズマ反応炉や化学蒸着(CVD)などのシミュレーションに適したプラズマ解析ソフトウエアです。

Particle-PLUSは、粒子法を用いたプラズマ・希薄流体解析ソフトウェアです。プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造などに有効なソフトです。二周波CCPや外部回路モデルなどの高度な物理モデルに対する解析も可能です。充実したサポートによりシミュレーションが始めての方や実験で忙しい方々も確実に結果を出すことができます。プラズマを解析するのに粒子モデルを用い、電子・イオンを代表する粒子の運動を追跡するPIC / MC (Particle In Cell / Mote Carlo)法を採用しております。また、対象プラズマ密度に応じて比較的高密度では陰解法を、低密度では陽解法と使い分けることにより、複雑なモデルでも効率良く解くことができます。特に流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします。標準機能でのCCP、ICP、マグネトロンスパッタ計算はもちろんのこと、お客様の装置にあわせたカスタマイズも行っております。

• その他解析

従来では困難だった自動車用スパークプラグのアークプラズマ解析も可能なシミュレーションソフトウェアです。

VizSparkは、プラズマシミュレーションの専門家、テキサス大学オースティン校のRaja教授によって開発された、アークプラズマシミュレーションソフトウェアです。アークプラズマはもちろん固体との熱のやり取り、磁場、流れとの連成を考慮に入れているため、幅広い解析対象にお使い頂ける製品となっています。 メイン画像では、以下の条件での自動車用点火プラグの電極間放電の『温度分布』を表示しています。 ・ガス種：空気 ・気体の流入圧力 5 atm ・気体の流入速度 8 m/s ・気体の初期温度 700 K ・電流 19.1 mA その他にも、流速、圧力、気体分子の数密度などの空間分布出力が可能です。 ◎トライアル（試用） 有償で1ヵ月のトライアル（試用）を実施しております。 詳しくは下記の「Webからお問い合わせ」より、お気軽にお問い合わせ下さい。

• エンジン系部品
• その他解析
• 受託解析

「シャワーヘッド型CVD」解析にも対応した 希薄流体解析ソフトウェア『DSMC-Neutrals』

シャワーヘッド型CVD装置内のガス流れのシミュレーション解析 はじめ様々なシミュレーションに対応 【特長】 ■非構造メッシュを採用しているので、複雑な実際の装置の形状そのままを計算することが可能 ■高い並列効率から、大規模形状でも短時間で計算結果が得られる ■粒子法を採用しているため流体モデルと異なり，品質の悪い計算格子が有っても，必ず収束解を得られる ■充実した技術サポートにより、シミュレーションが始めての方や実験で忙しい方々も確実に結果を出すことが可能 ◆さまざまな事例に対応◆ ・真空チャンバー内の希薄なガス流れシミュレーション ・半導体製造における薄膜生成のシミュレーション ・化学蒸着 (CVD)、有機EL (OLED)、分子線エピタキシー (MBE ) などの半導体製造における薄膜生成のシミュレーション ◆さまざまな計算結果を出力◆ ・化学反応の計算 ・アレニウス形式の反応データから化学反応を計算 ・解離・再結合・分子（原子）交換反応計算 ・GUI 上で，複数の反応式を設定も可能 ※受託解析もしておりますので、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他解析

従来では困難だった自動車用点火プラグのアークプラズマ解析も可能なシミュレーションソフトウェアです。

VizSparkは、プラズマシミュレーションの専門家、テキサス大学オースティン校のRaja教授が設立した、米国Esgee Technologies社によって開発された、アークプラズマシミュレーションソフトウェアです。 点火プラグ及び遮断器での解析に最も多くの実績があり、学会においても多くの事例が発表されております。 国内でも完成車メーカー、内燃機関関連メーカーを中心に多くの実績があり、以下のような装置の解析に対応しています。 ・遮断機 ・大気圧放電 ・点火プラグ(スパークプラグ) ・プラズマトーチ（プラズマジェット） ・溶接 ・溶射 ・高輝度ランプ

• シミュレーター
• 受託解析
• 解析サービス

プラズマシミュレーションの専門家、テキサス大学オースティン校のRaja教授によって開発されたソフトウェアです。

VizGlowはプラズマシミュレーションの専門家、テキサス大学オースティン校のRaja教授が設立した、米国Esgee Technologies社によって開発された、汎用プラズマシミュレーションソフトウェアです。

• シミュレーター
• 受託解析
• 解析サービス

ガス流れや薄膜生成のシミュレーションに。大規模形状でも短時間計算

当社では、半導体関連装置向けに特化した解析ソフトを取扱っています。 希薄流体解析ソフト、プラズマ解析ソフトをラインアップし、 有機ELやマグネトロンスパッタのシミュレーションに活躍。 お客様のニーズに合わせた対応も可能です。 【ラインナップ】 《希薄流体解析ソフト『DSMC-Neutrals』》 ■非構造メッシュに対応しているため、複雑な形状の計算に対応 ■装置内全体のガス流れのシミュレーションが可能 《プラズマ解析ソフト『Particle-PLUS』》 ■低圧のプラズマシミュレーションが可能 ■プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造などに この2つのシステムで、半導体製造における薄膜生成、スパッタリング、 プラズマエッチングなどの様々なシミュレーションに対応可能です。 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

• 受託解析
• その他解析

金属3Dプリンタは多種多様化しており､最近では数千万円の比較的購入し易い低価格機や部品の量産製造を実現するバインダージェット方式､大型部品･大物製品を造形する高速･大型機が続々と市場投入され､更には造形が困難なマグネシウム部品の試作や銅部品の製造が開始されています。 金属3Dプリンタは､3Dデータから直接製品化するため金型が不要になり､また今迄の加工法では不可能な複雑形状一体造形､ラティス･ポーラス構造造形､中空構造造形、ハイブリッド構造造形ができるため､従来･他社にない革新的な金属部品･金型の創出､短時間部品試作･製造､部品点数の激減､軽量小型化､製造工程･従事者数の削減が実現できます。 金属3Dプリンタを駆使して､魅力的な新製品の開拓､新規事業の創出､これまでの製品との差別化､試作･製造時間の大幅短縮､劇的な部品数の削減､複雑形状部品の低コスト･軽量化等をご検討の方やご興味ご関心の初心者の方にわかり易く実践的に解説いたします。 次世代の金属部品･金型製造の本命として世界中が精力的に投資しており､部品の量産化も本格的に始まっています。 金属3Dプリンタによる部品製造は､数年後には当たり前になります。

[講　師] 総務省 総合通信基盤局 電気通信事業部 事業政策課 電気通信経済安全保障室 室長 林 大輔 氏 課長補佐 山本 明央 氏 [重点講義内容] 国際海底ケーブルは、我が国の国際通信の約99％を担っており、データ流通量の飛躍的増大、デジタル技術の進展等を背景にその戦略的重要性はかつてない高みに達しています。他方で、その損壊リスクの拡大、市場競争の激化及び安全保障上の脅威の顕在化といった複合的かつ構造的な課題を抱えています。 本講演では、こうした現状や課題に関する認識を共有した上で、我が国の国際海底ケーブルが引き続き安定的かつ持続的にその機能を維持しつつ、一層発展していくための、防護等の在り方についての政策の方向性をご説明いたします。 [講演項目] １．国際海底ケーブルを巡る現状と課題について ２．海底ケーブルの多ルート化・陸揚局の地方分散の促進について ３．海底ケーブル・陸揚局の防護の強化について ４．自律的な供給体制の強化について ５．監督体制の強化について ６．質疑応答／名刺交換

[講演項目] 一．官民投資ロードマップと植物工場市場の展望 株式会社三菱総合研究所 経営・DX事業部門 食農分野担当本部長 久保田 孝英 氏 二．「製造業」視点で捉える人工光型植物工場の事業化戦略について ～環境制御・衛生管理の最適化による高生産性・高品質実現のアプローチ～ 大和ハウス工業株式会社 経営戦略本部 経営企画部 新規事業開発室 未来事業推進グループ 上席主任 大塚 貴雄 氏 三．ＹＵＡＳＡの植物工場ビジネスの取組と展望 株式会社ＹＵＡＳＡ フードテック推進部 課長 相澤 航一 氏 株式会社ＹＵＡＳＡ 新事業開発室 課長補佐 鍋屋 耕平 氏

[講　師] 株式会社日本総合研究所 創発戦略センター インキュベーションプロデューサー 籾山 嵩 氏 [重点講義内容] 資源安全保障や新規市場創出の観点からEV電池のサーキュラーエコノミー形成への期待が高まる中、事業化に向けた議論は「将来予測・計画」から「現場の実装」へと移行し始めています。しかし、国内では中古EVの海外流出や使用済み電池の回収・輸送コストの高騰、電池状態のブラックボックス化による残価設定の難しさなど、既存モデルの限界と多様なボトルネックが見えてきています。 本講演では、これまでの技術実証から市場形成、さらにEV電池の“大量排出前夜”に至る市場構造の変化を振り返り、市場構造の根本的な課題を整理します。その上で、輸送コストを抑え、資源を国内に保持するための「地域モデル確立」の効果や、情報の非対称性を解消してリユース・再資源化・残価担保を劇的に加速させる電池診断技術の可能性と課題について概説します。

[講　師] ベーカー&マッケンジー法律事務所（外国法共同事業） パートナー 弁護士 玉川 雅文 氏 [講演項目] １．系統用蓄電池の基礎 ２．系統接続の最新動向（近時の規律強化対応を含む） ３．事業用地の選定・開発 ４．主要契約の交渉実務 ５．プロジェクトファイナンス ６．質疑応答／名刺交換