【基礎知識】研磨に影響を与える要因

研磨に影響を与える要因として、大きく分類して研磨機、研磨材(パッド、スラリー)、洗浄があります。
以下にそれぞれの要因についての詳細を示します。
研磨機・・圧力、回転スピード、温度、コンディショニング条件
スラリー・・砥粒の種類、砥粒濃度、薬液/添加剤、pH, 流量
パッド・・材質、溝の種類、硬さ、密度(or 物理的性質、構造的特長、化学的性質)
洗浄・・薬液種類、洗浄部材、運転条件
研磨物(ウェーハ)に応じて最適な条件の組み合わせを変える必要があります。
一般的に研磨速度は下記のプレストンの式よって理論的に計算されます。
PR=kPV
PR: 研磨速度(m/s), k: 定数(Pa-1)、P:研磨圧力(Pa)、V:相対速度
ケミカル性の強いスラリーでは研磨速度は温度にも影響を受けるので以下の式に修正されます。
PR=kPVTα
T: 研磨時の温度(℃)、α: 温度指数

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