【基礎知識】CMP用語集 「親水性」(hydrophilicity)
★親水性(hydrophilicity)
水分子との相互作用が大きく、親和性が大きい性質のこと。
個体表面においては、水で濡れやすい性質をいう。水で濡れやすい個体表面は親水面または粗油面と呼ばれ、空気中での水の接触角で25°以下として区別される。静電的相互作用や水素結合などにより、水分子に対し、親和性を示す原子団のことを親水基といい、OH基やCOOH基などの極性基や解離基を含む原子団がその性質を示す。この親水基は疎水基(親油基)とともに、界面活性剤の分子を構成する。シリコンウェーハでは、自然酸化膜表面などOH基で終端されている表面で親水性を示す。
オーム社刊 精密工学会編 【半導体CMP用語辞典】から引用

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