【基礎知識】CMP用語集 「表面粗さ」(Surface Roughness)

★表面粗さ(Surface Roughness)
物質表面の凹凸など表面形状を表すことであり、表現方法または定義方法はJIS B 0601にて定義されている。表面粗さは、表面の凹凸の評価法の一つとして表面の断面形状を測定し、得られた断面曲線より表面粗さを数値評価したもの。
断面曲線はフィルターにより高周波数成分を持つ粗さ曲線と、低周波数成分によるうねり曲線に分けられる。表面粗さはその粗さ曲線の情報に基づき評価される。計測区間における最高値と最低値の差による最大高さ粗さRzと、平均値からの偏差の2乗の総和による算術平均粗さRaの表示方法がある。計測方法としては、触針式粗さ計、光学式粗さ計、光学式膜厚測定器、AFM(原子間力顕微鏡)、SEM(走査型電子顕微鏡)などに、データ出力パラメータが用意されている。
オーム社刊 精密工学会編 【半導体CMP用語辞典】から引用

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