成膜工程におけるテストウエハを、各企業様の状況に合わせてご提案&製造致します!

アドバンスマテリアルズテクノロジーでは、
テスト用ウェハの中でも特に、成膜・CMP・洗浄・エッチング・TSVの
研究開発に必要な先端の技術を盛り込んだウェハを供給しています。
【対応可能膜種】
Cu、Ta、TaN、Ti、TiN、Al-Cu、SiN、
PE-TEOS、HDP、HARP oxide、Poly-Si、
Th-Ox、ACL、SiC、SiON、Photo resist、Polyimide
■メタル系
Ru、Co、CoEP、Pt、Au、W

このニュースへのお問い合わせ
Webからお問い合わせこのニュースの詳細・お申し込み
詳細・お申し込み
関連リンク
次世代半導体開発に必要な各種テストウェハを販売しております。
特に先端のCMP・洗浄・エッチング・TSVの研究開発用の評価用ウェハや
微細パターンウェハを提供しています。各種膜質・厚みの変更も承ります。